Введение
Цели и задачи дисциплины. Роль оборудования в технологии производства микроэлектронных устройств.
Элементы кинетической теории газов.
Понятие об идеальном газе. Тепловое движение молекул и атомов.
Давление и плотность газа. Парциальное давление газа.
Давление и плотность газа. Парциальное давление газа.
Взаимодействие газов с твердыми телами.
Поглощение и выделение газов твердыми телами. Сорбция и десорбция. Необходимость обезгаживания твердых тел в вакуумной технике.
Сорбция и десорбция газов.
Виды сорбции – адсорбция, абсорбция, хемосорбция. Десорбция. Применение этих явлений в технологии производства МЭУ.
Сорбция и десорбция газов.
Факторы зависимости сорбционных и десорбционных явлений, физическая суть этих явлений.
Общие сведения о вакуумных насосах.
Классификация вакуумных насосов. Основные параметры и характеристики насосов.
Пластинчатые вакуумные насосы с масляным уплотнением.
Конструкция и принцип действия пластинчато-роторного насоса. Конструкция и принцип действия пластинчато-статорного насоса.
Плунжерный и двухроторный вакуумные насосы.
Конструкция и принцип действия плунжерного насоса. Конструкция и принцип действия двухроторного насоса.
Турбомолекулярный насос.
Назначение и основные параметры турбомолекулярного насоса. Конструкция и принцип действия насоса.
Струйные насосы.
Назначение, конструкции и особенности работы струйных насосов. Условия запуска насосов. Эжекторные насосы. Суть эффекта всасывания газа струей.
Диффузионные насосы.
Конструкция, материалы и принцип действия.
Магнитный электроразрядный насос.
Назначение, конструкция, применение и особенности работы магнитного электроразрядного насоса. Отличие от ранее изученных конструкций.
Криосорбционные насосы.
Криосорбционные насосы. Назначение, конструкции, применение и особенности работы насосов.
Ловушки механические.
Назначение и основные требования. Конструкции ловушек, принцип действия.
Низкотемпературные охлаждаемые ловушки.
Ловушки с хладогентом. Адсорбционные ловушки. Конструкции, материалы и принцип действия.
Деформационные вакуумметры.
Трубчатые вакуумметры. Конструкции, параметры, принцип работы.
Деформационные вакуумметры.
Мембранные вакуумметры. Конструкции, параметры, принцип работы.
Вакуумметры косвенного действия. Тепловые вакуумметры.
Тепловые вакуумметры. Устройство манометрических преобразователей, принцип их работы.
Вакуумметры косвенного действия. Ионизационные вакуумметры.
Ионизационные вакуумметры. Конструкция и параметры приборов. Принцип работы ионизационного вакуумметра.
Приборы для измерения парциальных давлений газов.
Классификация газоанализаторов. Спектр масс и его расшифровка.
Статические масс-спектрометры с разделением ионов в магнитном поле.
Конструкция, принцип действия.
Течеискатели.
Герметичность вакуумных систем. Понятие о скорости натекания. Методы течеискания: метод опрессовки, манометрический, галоидный, или высокочастотного разряда.
Установка и устройства для нанесения тонких пленок в вакууме.
Методы нанесения тонких пленок в вакууме и устройства испарения материала. Конструкция установки для нанесения тонких пленок в вакууме.
Оборудование для очистки сред.
Конструкции “чистых” комнат. Мероприятия, обеспечивающие основные параметры воздушной среды для “чистых” комнат.
Оборудование для очистки технологических газов.
Установка для очистки азота и аргона.
Абразивные материалы и инструменты.
Общие сведения об абразивных материалах и механической обработке полупроводников. Инструменты для обработки полупроводников.
Эволюционное развитие станков для резки слитков.
Устройство станков для резки слитков на пластины. Кинематические схемы станков. Прогрессивные методы резки слитков на пластины.
Конструкция станка для резки слитков на пластины.
Конструкция и особенности станка для резки слитков на пластины.
Конструкция и принцип работы станка для шлифовки пластин “связанным” абразивом.
Кинематическая схема и принцип работы станка.
Оборудование для полировки пластин.
Конструкция, кинематическая схема и принцип действия станка для полировки пластин.
Базовая центрифуга.
. Конструкция и принцип действия базовой центрифуги.
Устройство транспортной системы пластин.
Транспортное устройства линии “Лада-125”. Назначение, конструкция и принцип действия.
Диффузионные термические установки.
Конструкции и принцип построения установок диффузии. Конструкция муфеля.