Несамостоятельный тлеющий разряд постоянного тока с ионизацией импульсно-периодическим разрядом (РПТ-ИР) используется для создания активной среды в электроразрядных технологических СО2-лазерах с быстрым поперечным протоком газа с непрерывной мощностью от 1 до 40 кВт. Этот метод был впервые использован для накачки СО2-лазеров в работах Рейли[1] и Хилла[2], о значительных практических достижениях сообщали Шашаков с сотр. [3], Сеген с сотр. [4], а также Генералов с сотр. [4]
На рисунке 2.1 изображено два способа организации несамостоятельного разряда постоянного тока с ионизацией импульсно-периодическим разрядом (РПТ-ИР).
Рисунок 2.1 – Способы организации несамостоятельного разряда постоянного тока
В схемах, используемых в работах[1] напряжение импульсно-периодического разряда и напряжение несамостоятельного разряда (постоянное или также импульсное) подаются на одни и те же электроды, как показано на рисунке 2.1, вверху. Пространственная однородность разряда в этом случае обеспечивается путем секционирования электродов, а также введением дополнительной предыонизации.
В другой схеме, разработанной Генераловым [1] (Рисунок 2.1, внизу) напряжение самостоятельного импульсно-периодического разряда прикладывается к дополнительной паре электродов, представляющих собой металлические пластины большой площади, изолированные от разрядного промежутка слоями диэлектрика. Этот тип вспомогательного разряда называется безэлектродным или емкостным импульсно-периодическим разрядом ЕИР, или емкостной импульсной предыонизацией. Для ЕИР характерна высокая импульсная мощность, необходимая для того чтобы создать однородную ионизацию в разрядном объеме, заключенном между диэлектрическими пластинами, при сравнительно низкой средней по времени мощности. Возбуждение колебательных степеней свободы молекул в однородно ионизованной среде осуществляется стационарным несамостоятельным основным разрядом, который можно охарактеризовать как разряд постоянного тока с ионизацией безэлектродным (емкостным) импульсно-периодическим разрядом РПТ-ЕИР. Постоянное напряжение основного разряда прикладывается к металлическим электродам в форме трубок (катода и анода), расположенных на входе и выходе газового потока в разрядной камере. Поток направлен от катода к аноду, перпендикулярно оптической оси резонатора. Две оставшиеся стенки разрядной камеры имеют отверстия для выхода излучения к зеркалам, расположенным снаружи. Проходы многопроходного оптического резонатора расположены Z-образно для лучшего заполнения излучением объема разрядной камеры.
Эта схема была предложена и разрабатывалась в течение длительного времени. На базе этих исследований был спроектирован ряд промышленных СО2-лазеров «Лантан» мощностью от 1,5 до 5 кВт[4]. Кроме того, была создана экспериментальная лазерная установка «Циклон» мощностью 10 кВт[4]. Эти лазеры отличаются высоким КПД, хорошим качеством излучения, широкими возможностями для управления мощностью, низким потреблением рабочих газов и высокой надежностью.
Высокие эксплуатационные характеристики этих лазеров достигнуты благодаря особенностям применяемой схемы РПТ-ЕИР: оптической однородности, простой электродной системе, низкой плазмохимической активности и оригинальной схеме управления мощностью основного разряда.
Ниже приведено подробное описание физики РПТ-ЕИР и особенностей его применения в мощных технологических СО2-лазерах. Рассматриваются достигнутые результаты и перспективы дальнейшего развития данного метода.
Рисунок 2.2 – Взаимное расположение электродов и эквивалентная схема ЕИР