Hаноструктурные покрытия




 

 

Технологии нанесения нанопленок и нанопокрытий

К объек­там на­нотех­но­логии от­но­сят­ся ма­тери­алы с раз­ме­рами зе­рен от 1 до 100 нм. Син­тез на­нос­трук­тур на по­вер­хнос­ти твер­до­фаз­ных тел (мат­риц) обыч­но осу­щест­вля­ют сле­ду­ющи­ми ме­тода­ми:

  • мо­леку­ляр­но-лу­чевой эпи­так­си­ей;
  • хи­мичес­ким или фи­зичес­ким осаж­де­ни­ем из га­зовой фа­зы;
  • тех­но­логи­ей пле­нок Лен­гмю­ра-Блод­жетт;
  • мо­леку­ляр­ным нас­ла­ива­ни­ем.

Мо­леку­ляр­но-лу­чевая эпи­так­сия (МЛЭ) обес­пе­чива­ет вы­ращи­вание свер­хтон­ких пле­нок осаж­де­ни­ем мо­леку­ляр­но­го или атом­но­го пуч­ка, ис­па­ря­емо­го в глу­боком ва­ку­уме ве­щес­тва при его со­уда­рении с по­вер­хностью под­ложки, наг­ре­той до тре­бу­емой тем­пе­рату­ры. Тол­щи­на об­ра­зу­емой плен­ки при выб­ранной тем­пе­рату­ре и кон­цен­тра­ции ис­па­ря­емо­го ве­щес­тва оп­ре­деля­ет­ся вре­менем про­пус­ка­ния ре­аген­та. Для прек­ра­щения про­цес­са вы­ращи­вания плен­ки на пу­ти пуч­ка ис­па­ря­емо­го ма­тери­ала ус­та­нав­ли­ва­ют ме­хани­чес­кую зас­лонку. По су­щес­тву МЛЭ пред­став­ля­ет со­бой из­вес­тный ме­тод по­луче­ния тон­ких пле­нок в про­цес­сах ва­ку­ум­но­го ис­па­рения, но только ре­али­зу­емый в ус­ло­ви­ях очень глу­боко­го ва­ку­ума.

Ме­тодом МЛЭ бы­ли син­те­зиро­ваны струк­ту­ры из мо­нос­ло­ев ар­се­нида гал­лия и алю­миния для из­де­лий элек­трон­ной про­мыш­леннос­ти.

Тон­кие плен­ки мо­гут быть по­луче­ны на ос­но­ве CVD- и PVD-про­цес­сов (хи­мичес­ко­го па­рофаз­но­го осаж­де­ния или фи­зичес­ко­го па­рофаз­но­го осаж­де­ния), ког­да пос­ле тер­ми­чес­ко­го или и­он­но­го ис­па­рения про­ис­хо­дит осаж­де­ние ве­щес­тва на под­ложку. При осаж­де­нии ком­по­нен­тов плаз­мы тол­щи­на плен­ки и раз­ме­ры сос­тавля­ющих ее на­нок­ласте­ров ре­гули­ру­ют­ся из­ме­нени­ем дав­ле­ния га­за и па­рамет­ров раз­ря­да. Так, ши­роко из­вес­тные и не­об­хо­димые в прак­ти­ке плен­ки нит­ри­да и кар­би­да ти­тана по­луча­ют­ся пу­тем и­оноп­лазмен­но­го осаж­де­ния, что при­водит к фор­ми­рова­нию на­нок­ристал­ли­чес­кой струк­ту­ры пле­нок. Маг­нетрон­ное рас­пы­ление поз­во­ля­ет сни­зить тем­пе­рату­ру под­ложки на не­сколько со­тен гра­дусов.

Пре­иму­щес­твом тех­но­логии маг­нетрон­но­го рас­пы­ления яв­ля­ет­ся нез­на­чительный наг­рев под­ложки до 50…250°С. Это поз­во­ля­ет осаж­дать пок­ры­тия прак­ти­чес­ки на лю­бые ма­тери­алы. Кро­ме то­го, дан­ная тех­но­логия поз­во­ля­ет на­носить твер­дые и сверх­твер­дые на­нос­трук­турные пок­ры­тия с раз­личным уров­нем уп­ру­гоп­ласти­чес­ких ха­рак­те­рис­тик. Твер­дость пок­ры­тия сис­те­мы Ti—Si—B—N при маг­нетрон­ном рас­пы­лении воз­раста­ет с 20 до 40 ГПа.

Плен­ки Лен­гмю­ра-Блод­жетт фор­ми­ру­ют­ся с по­мощью ПАВ на по­вер­хнос­ти жид­кости, обыч­но во­ды. В слой ПАВ мо­гут вво­диться на­нок­ласте­ры, мо­леку­лы и ком­плек­сы ме­тал­лов, пос­ле че­го про­ис­хо­дит их пе­ренос на твер­дую под­ложку. Дан­ный ме­тод поз­во­ля­ет по­лучать свер­хре­шет­ки и на­нос­лои мо­лекул и на­нок­ласте­ров с за­дан­ным по­ряд­ком че­редо­вания сло­ев.

Ме­тод мо­леку­ляр­но­го нас­ла­ива­ния сос­то­ит в ор­га­низа­ции на­ноп­ленки ме­тода­ми хи­мичес­кой сбор­ки сло­ев ве­щес­тва пу­тем прос­транс­твен­но­го и вре­мен­ноґго раз­де­ления эле­мен­тарных ак­тов хе­мосор­бции на по­вер­хнос­ти под­ложки, нап­ри­мер, SiО2 или А12О3. Вна­чале по­вер­хность под­ложки мо­дифи­циру­ет­ся, нап­ри­мер, груп­па­ми ОН или О, а за­тем про­водит­ся ре­ак­ция хе­мосор­бции с учас­ти­ем ком­плек­сов ме­тал­лов.

Азо­тиро­вание и гид­ри­рова­ние, а так­же об­ра­бот­ка ато­мами бо­ра, ти­тана по­верх­нос­ти твер­дых тел дав­но слу­жит ме­тодом соз­да­ния проч­ных тон­ких пле­нок на по­верх­нос­ти ме­тал­лов, нап­ри­мер же­леза, что на­ходит мно­гочис­ленное при­мене­ние в прак­ти­ке.

Ин­же­нерия по­вер­хнос­ти яв­ля­ет­ся од­ним из на­ибо­лее пер­спек­тивных и бур­но раз­ви­ва­ющих­ся нап­равле­ний сов­ре­мен­но­го ма­тери­ало­веде­ния, об­слу­жива­ющим раз­личные об­ласти на­уки и тех­ни­ки: фи­зику, хи­мию, ме­дици­ну, ма­шинос­тро­ение, ме­тал­лургию и т. д. В нас­то­ящее вре­мя раз­ви­ва­ет­ся но­вая от­расль три­боло­гии — на­нот­ри­боло­гия, объеди­нив­шая эк­спе­римен­тальное и те­оре­тичес­кое изу­чение тре­ния, из­но­са, смаз­ки, хи­мичес­кой ак­тивнос­ти и три­бо­элек­тро­маг­не­тиз­ма по­верх­нос­ти на на­нос­трук­турном уров­не. По­доб­ный ком­плексный под­ход по­лезен для ре­шения важ­ной за­дачи сов­ре­мен­но­го ма­тери­ало­веде­ния — соз­да­ния на­нос­трук­ту­риро­ван­ных ме­тал­ли­чес­ких ма­тери­алов, по­вер­хность ко­торых об­ла­да­ет од­новре­мен­но сма­зоч­ны­ми и про­тиво­кор­ро­зи­он­ны­ми свойства­ми.

Пер­вы­ми пок­ры­ти­ями, ос­во­ен­ны­ми в про­мыш­ленных мас­шта­бах, бы­ли кар­бид и нит­рид ти­тана. К се­реди­не 1980-х гг. по­яви­лись пок­ры­тия на ос­но­ве Ti(C, N), к на­чалу 1990-х гг. — уг­ле­род­ные плен­ки, а к се­реди­не 1990-х гг. — ал­мазные и мно­гос­лойные пок­ры­тия. Мно­гоком­по­нен­тные на­нос­трук­турные пок­ры­тия об­ла­да­ют вы­соки­ми фи­зико-ме­хани­чес­ки­ми свойства­ми.

В на­нос­трук­турных ма­тери­алах су­щес­твен­ную роль иг­ра­ют по­вер­хнос­ти гра­ниц зе­рен вследс­твие зна­чительно­го уве­личе­ния их объем­ной до­ли. Это при­водит к но­вым фи­зичес­ким яв­ле­ни­ям и уни­кальным свойствам, при­сущим на­нораз­ме­ру. Ра­боты в об­ласти по­луче­ния сверх­твер­дых (Н ³ 40 ГПа) и ультрат­вердых (Н ³ 70 ГПа) на­нос­трук­турных тон­ких пле­нок по­каза­ли, что твер­дость ма­тери­ала мо­жет прак­ти­чес­ки дос­ти­гать твер­дости при­род­но­го ал­ма­за при ус­ло­вии по­луче­ния ма­тери­ала, сос­то­яще­го из нес­кольких фа­зовых ком­по­нен­тов с раз­ме­ром зе­рен до 5 нм и проч­ны­ми энер­ги­ями свя­зи на их гра­ницах.

Из­но­сос­тойкость пле­нок на по­рядок пре­вос­хо­дит из­но­сос­тойкость быс­тро­режу­щих ста­лей и в 2—3 ра­за вы­ше ис­пользу­емых в про­мыш­леннос­ти пок­ры­тий из нит­ри­да ти­тана.

Ультрат­вердые трех- и че­тырех­компо­нен­тные тон­копле­ноч­ные ком­по­зиции ти­па Ti—B—N, Ti—Si—B, Ti—B—C—N, Ti—Al—Si—N по­мимо вы­сокой твер­дости и из­но­со­стойкос­ти ха­рак­те­ризу­ют­ся вы­соким соп­ро­тив­ле­ни­ем кор­ро­зии.

Тон­кие мно­гоком­по­нен­тные плен­ки на­носят­ся ли­бо за счет ис­пользо­вания ре­ак­тивной сре­ды, ли­бо раз­личны­ми ме­тода­ми фи­зичес­ко­го рас­пы­ления и осаж­де­ния.

Фор­ми­рова­ние в по­вер­хностных сло­ях конс­трук­ци­он­ных и инс­тру­мен­тальных ма­тери­алов на­нос­трук­турных пле­нок по­выша­ет ста­тичес­кую и ус­та­лос­тную проч­ность де­талей.

Фун­кци­онально-гра­ди­ен­тные пок­ры­тия сос­то­ят из внут­ренне­го твер­до­го слоя, обес­пе­чива­юще­го низ­кое дав­ле­ние на по­вер­хность со сто­роны тру­щейся па­ры, стойкость к ис­ти­ранию и ца­рапа­нию, и внеш­не­го са­мос­ма­зыва­юще­гося слоя, обес­пе­чива­юще­го низ­кий ко­эф­фи­ци­ент тре­ния. Са­мос­ма­зыва­ющи­еся пок­ры­тия наш­ли ши­рокое при­мене­ние в уз­лах тре­ния раз­личных кос­ми­чес­ких ап­па­ратов. Од­на­ко низ­кая стойкость к окис­ле­нию на воз­ду­хе ог­ра­ничи­ва­ет при­мене­ние та­ких ма­тери­алов, как MoS2, MoSe2, для ре­жуще­го и об­ра­баты­ва­юще­го инс­тру­мен­та. Для по­выше­ния кор­ро­зи­он­ной стойкос­ти ис­пользу­ют осаж­де­ние твер­дых мно­гофаз­ных пок­ры­тий с низ­ким ко­эф­фи­ци­ен­том тре­ния на ос­но­ве ди­бори­да ти­тана TiB2 и ди­сульфи­да мо­либ­де­на MoS2. Та­кие пок­ры­тия име­ют твер­дость 20 ГПа и ко­эф­фи­ци­ент тре­ния 0,05.

Ча­ще дру­гих по­лиме­ров для из­но­сос­тойких пок­ры­тий ис­пользу­ют по­ли­уре­таны, пен­тапласт, по­литет­рафто­рэти­лен, по­ли­ами­ды, эпок­сидные ком­по­зиции. Хо­рошо про­тивос­то­ят аб­ра­зив­но­му из­но­су, нап­ри­мер, тру­бы, пок­ры­тые из­нутри по­ли­уре­таном.

Пок­ры­тия на ос­но­ве не­напол­ненных по­ли­уре­тано­вых элас­то­меров по стойкос­ти к аб­ра­зив­ной эро­зии пре­вос­хо­дят ряд ма­рок кор­ро­зи­он­но-стойких ста­лей.

Од­ним из пер­спек­тивных из­но­сос­тойких ма­тери­алов яв­ля­ет­ся по­ливи­нил­ден­фто­рид (ПВДФ). Он при­меня­ет­ся как в ка­чес­тве пок­ры­тий и фу­теро­вок эле­мен­тов на­сос­ных аг­ре­гатов, так и для из­го­тов­ле­ния на­сосов для пе­река­чива­ния аг­рессив­ных сред.

Од­ним из ра­ци­ональных спо­собов по­выше­ния из­но­сос­тойкос­ти пок­ры­тий яв­ля­ет­ся мо­дифи­циро­вание по­лимер­ных ком­по­зиций не­ор­га­ничес­ки­ми и ми­неральны­ми на­пол­ни­теля­ми, нап­ри­мер, ди­сульфи­дом мо­либ­де­на, тальком, амор­фным бо­ром, ко­рун­дом, ок­си­дом цин­ка, кар­би­дом крем­ния и др.

Сни­жению из­но­са пок­ры­тий спо­собс­тву­ет на­пол­не­ние по­лимер­ных ком­по­зиций стек­ло­волок­ном, гра­фитом, це­мен­том, ас­бестом, мар­шалли­том, по­выша­ющим проч­ность, теп­лостойкость и дру­гие ха­рак­те­рис­ти­ки по­лиме­ров.

Пер­спек­тивно ис­пользо­вание по­лимер­но­го из­но­сос­тойко­го пок­ры­тия на ос­но­ве эпок­сидной смо­лы и шла­мов — от­хо­дов пред­при­ятий чер­ной ме­тал­лургии с со­дер­жа­ни­ем об­ще­го же­леза бо­лее 60%. Ис­пользо­вание шла­мов рас­ши­ря­ет сырьевую ба­зу, уде­шев­ля­ет сто­имость пок­ры­тия и по­выша­ет его фи­зико-ме­хани­чес­кие свойства в ус­ло­ви­ях воз­действия кор­ро­зи­он­но-эро­зи­он­ных сред.

 

Строение и свойства наноструктурных покрытий

На­нос­трук­турные пок­ры­тия об­ла­да­ют ком­плек­сом уни­кальных ха­рак­те­рис­тик: вы­сокой объем­ной до­лей гра­ниц раз­де­ла от­дельных зе­рен, от­сутс­тви­ем внут­ри­зерен­ных дис­ло­каций, при­сутс­тви­ем меж­крис­таллит­ных амор­фных прос­ло­ек.

Тер­ми­чес­кое на­пыле­ние на­нос­трук­турных пок­ры­тий пред­став­ля­ет со­бой пер­спек­тивный под­ход, поз­во­ля­ющий ис­пользо­вать не­обыч­ные ме­хани­чес­кие и фи­зичес­кие свойства на­нос­трук­турных ма­тери­алов (проч­ность, удар­ную вяз­кость и кор­ро­зи­он­ную стойкость). Чис­ло ато­мов на гра­нице на­нораз­мерно­го крис­талли­чес­ко­го зер­на срав­ни­мо с чис­лом ато­мов внут­ри са­мого зер­на. Из-за уве­личе­ния удельной пло­щади гра­ницы ко­личес­тво при­месей на еди­ницу пло­щади гра­ницы уменьша­ет­ся по срав­не­нию с круп­но­зер­нистым ма­тери­алом то­го же сос­та­ва при той же объем­ной кон­цен­тра­ции при­месей. Бо­лее чис­тая по­вер­хность зе­рен обес­пе­чива­ет бо­лее од­но­род­ную кор­ро­зи­он­ную мор­фо­логию и бо­лее вы­сокую кор­ро­зи­он­ную стойкость вдоль гра­ниц по срав­не­нию с круп­но­зер­нистым крис­талли­чес­ким ма­тери­алом.

Ис­сле­дова­ния по­каза­ли, что у на­нос­трук­турных пок­ры­тий с раз­ме­ром зе­рен ме­нее 100 нм про­ис­хо­дит рез­кое улуч­ше­ние фи­зичес­ких ха­рак­те­рис­тик. На­нораз­мерные крис­талли­чес­кие зер­на не только об­ла­да­ют вы­сокой тер­ми­чес­кой ста­бильностью, но и эф­фектив­но тор­мо­зят дви­жение дис­ло­каций, что при­да­ет пок­ры­ти­ям вы­сокую удар­ную вяз­кость и свер­хвы­сокую проч­ность. Кро­ме то­го, важ­ным пре­иму­щес­твом пок­ры­тий с на­нораз­мерной зер­нистой струк­ту­рой яв­ля­ет­ся уменьше­ние ос­та­точ­ных нап­ря­жений, что поз­во­ля­ет соз­дать зна­чительно бо­лее тол­стые пок­ры­тия (в от­дельных слу­ча­ях их тол­щи­на в че­тыре ра­за больше, чем у пок­ры­тий из обыч­ных ма­тери­алов). Тер­ми­чес­кое на­пыле­ние при ис­пользо­вании вы­сокос­ко­рос­тных кис­ло­род­со­дер­жа­щих струй поз­во­ля­ет по­лучать раз­но­об­разные на­нос­трук­турные пок­ры­тия (ни­кель, су­перс­пла­вы Ni и кор­ро­зи­он­но-стойкой ста­ли; Cr3C2/NiCr; WC/Co), ко­торые об­ла­да­ют зна­чительно большей (при­мер­но на 60%) мик­ротвер­достью, чем пок­ры­тия из обыч­ных ма­тери­алов.

По­тен­ци­альные при­мене­ния рас­смот­ренных ме­тодов вклю­ча­ют в се­бя ши­рокий спектр тех­но­логий — от тер­мо­защит­ных пок­ры­тий ло­паток га­зовых тур­бин до из­но­сос­тойких де­талей вра­щения.

По аме­рикан­ским дан­ным, при­быль от внед­ре­ния на­нос­трук­турных пок­ры­тий в про­мыш­ленность США мо­жет сос­та­вить нес­колько мил­ли­ар­дов дол­ла­ров в год. Раз­ви­тие этой тех­но­логии на­вер­ня­ка кос­нется та­ких круп­ных и важ­ных от­раслей, как а­эро­кос­ми­чес­кая про­мыш­ленность, про­из­водс­тво ре­ак­тивных дви­гате­лей и ав­то­мобильная про­мыш­ленность.

На­несе­ние на внут­ренние по­лос­ти со­пел жид­кос­тных ра­кет­ных дви­гате­лей пок­ры­тий с низ­кой теп­лопро­вод­ностью улуч­ша­ет их экс­плу­ата­ци­он­ные ха­рак­те­рис­ти­ки.

Сис­те­ма ту­гоп­лавкое пок­ры­тие—под­ложка яв­ля­ет­ся мно­го­уров­не­вой. При соп­ря­жении пок­ры­тия с под­ложкой раз­ли­чие их уп­ру­гих ха­рак­те­рис­тик и ко­эф­фи­ци­ен­та тер­ми­чес­ко­го рас­ши­рения мо­жет при­водить в про­цес­се цик­ли­чес­ко­го наг­ру­жения к раз­ви­тию сет­ки тре­щин в пок­ры­ти­ях. Про­цес­сом мож­но уп­равлять, ес­ли по­давить об­ра­зова­ние тре­щин нор­мально­го от­ры­ва и ини­ци­иро­вать раз­ви­тие тре­щин сдви­га по соп­ря­жен­ным нап­равле­ни­ям мак­си­мальных ка­сательных нап­ря­жений, при этом не­сущая спо­соб­ность конс­трук­ции во внеш­нем по­ле не сни­жа­ет­ся. В ре­зульта­те ис­сле­дова­ний, вы­пол­ненных сот­рудни­ками Том­ско­го по­литех­ни­чес­ко­го уни­вер­си­тета под ру­ководс­твом В.Е.Па­нина, вы­яс­не­но, что это­го мож­но дос­тичь при сле­ду­ющих ус­ло­ви­ях:

  • ту­гоп­лавкое пок­ры­тие дол­жно иметь на­нок­ристал­ли­чес­кую струк­ту­ру и вы­сокую ад­ге­зию к под­ложке;
  • тол­щи­на пок­ры­тия не дол­жна пре­вышать оп­ре­делен­ную кри­тичес­кую ве­личи­ну, что­бы ха­рак­тер рас­пре­деле­ния нап­ря­жений на по­вер­хнос­ти раз­де­ла ока­зывал оп­ре­деля­ющее вли­яние на раз­ви­тие тре­щин сдви­га в пок­ры­тии;
  • на по­вер­хнос­ти раз­де­ла пок­ры­тие—под­ложка дол­жно быть соз­да­но рас­пре­деле­ние нап­ря­жений ти­па «шах­матная дос­ка»;
  • под по­вер­хностью раз­де­ла теп­ло­защит­но­го пок­ры­тия дол­жен быть сфор­ми­рован на­нос­трук­ту­риро­ван­ный под­слой с вы­сокой ре­лак­са­ци­он­ной спо­соб­ностью и раз­вет­влен­ной по­вер­хностью соп­ря­жения с под­ложкой.

Эф­фектив­ным спо­собом нап­равлен­но­го из­ме­нения струк­ту­ры и сос­та­ва пок­ры­тий мо­жет слу­жить бом­барди­ров­ка пуч­ка­ми и­онов вы­сокой энер­гии, син­те­зиру­ющи­ми пок­ры­тия с из­ме­ня­ющим­ся по глу­бине струк­турно-фа­зовым сос­та­вом.

Осаж­де­ние пок­ры­тий про­води­лось на ус­та­нов­ке ва­ку­ум­но­го на­пыле­ния с по­мощью маг­нетро­на с ми­шенью из спла­ва Ti—Al или Si—Al, ра­бота­юще­го от им­пульсов би­поляр­но­го ис­точни­ка пи­тания. Пок­ры­тия на ос­но­ве SiAlN и TiAlN по­луча­ли в ре­ак­тивной сре­де сме­си га­зов ар­го­на и азо­та. В ка­чес­тве под­ло­жек при­меня­лись об­разцы из лис­то­вой ме­ди.

На­нос­трук­ту­риро­вание по­вер­хностно­го слоя под­ло­жек про­води­лось пу­тем:

  • бом­барди­ров­ки и­она­ми ме­ди с по­мощью ва­ку­ум­но-ду­гово­го и­он­но­го ис­точни­ка, встро­ен­но­го в ра­бочую ка­меру ус­та­нов­ки на­пыле­ния;
  • ультраз­ву­ковой удар­ной об­ра­бот­ки с час­то­той и ам­пли­тудой ко­леба­ния бойков инс­тру­мен­та со­от­ветс­твен­но 27 кГц и 20 мкм и ста­тичес­кой си­лой при­жима инс­тру­мен­та к по­вер­хнос­ти об­разца 100 Н.

В ре­зульта­те про­ис­хо­дит сильная фраг­мента­ция зе­рен по­вер­хностно­го слоя, ко­торые раз­би­ва­ют­ся на бло­ки раз­ме­ром 50…200 нм с уг­лом ра­зори­ен­ти­ров­ки до 10…15°.

Про­веде­ние ис­пы­таний дву­хуров­не­вой сис­те­мы ту­гоп­лавкое пок­ры­тие—ме­тал­ли­чес­кая под­ложка в ус­ло­ви­ях тер­мо­цик­ли­рова­ния в ин­терва­ле тем­пе­ратур 20…1000°С со ско­ростью наг­ре­ва-ох­лажде­ния 20°/с по­каза­ло, что стойкость пок­ры­тий оп­ре­деля­ет­ся рас­пре­деле­ни­ем нап­ря­жений на ин­терфейсе. Пок­ры­тия из SiAlN при нес­колько меньшей твер­дости об­ла­да­ют бо­лее вы­сокой тер­мо­цик­ли­чес­кой стойкостью.

На­нос­трук­ту­риро­вание по­вер­хностно­го слоя ме­тодом и­он­ной бом­барди­ров­ки по­выша­ет тер­мо­цик­ли­чес­кую стойкость тон­ко­го (2 мкм) пок­ры­тия в 1,5—2,0 ра­за, а так­же мо­жет по­вышать ус­та­лос­тную проч­ность конс­трук­ци­он­ных ста­лей.

На­ибо­лее эф­фектив­ным спо­собом из­ме­нения сос­то­яния по­вер­хностно­го слоя яв­ля­ют­ся его на­нос­трук­ту­риро­вание ме­тода­ми и­он­ной им­план­та­ции и­она­ми А1В+ и N+ и ультраз­ву­ковой ков­ки. Тол­щи­на на­нос­трук­ту­риро­ван­но­го слоя сос­тавля­ет 5…8 мкм. При им­план­та­ции и­онов А1В+ и N+ мик­ротвер­дость ста­ли 1Х15Н4АМЗ-Ш воз­раста­ет с 4,4 ГПа до 5,6 ГПа и 4,8 ГПа со­от­ветс­твен­но. При ультраз­ву­ковой об­ра­бот­ке ста­ли 1Х15Н4АМЗ-Ш мик­ротвер­дость по­вер­хностно­го слоя по­выша­ет­ся до 5,2 ГПа, а ста­ли 30ХГСН2А — с 4 до 5,1 ГПа.

Ме­хани­чес­кие свойства ста­ли при рас­тя­жении об­разцов ис­сле­ду­емых ма­тери­алов с на­нос­трук­ту­риро­ван­ным по­вер­хностным сло­ем при­веде­ны в табл. 24.1.

Таблица 24.1. Механические свойства стали 1Х15Н4АМЗ-Ш с наноструктурированным поверхностным слоем
Об­ра­бот­ка Пре­дел уп­ру­гос­ти s0, МПа Пре­дел те­кучес­ти s0,2, МПа Пре­дел те­кучес­ти sв, МПа Ос­та­точ­ное уд­ли­нение, %
Стан­дар­тная (СТ)        
CT + и­он­ная им­план­та­ция А1В        
СТ + и­он­ная им­план­та­ция азо­том        
СТ + УФО        

Ана­лиз при­веден­ных дан­ных по­казы­ва­ет, что фор­ми­рова­ние на­нос­трук­ту­риро­ван­но­го по­вер­хностно­го слоя ока­зыва­ет на­ибо­лее зна­чительное вли­яние на пре­дел уп­ру­гос­ти s0 и пре­дел те­кучес­ти s0,2 ис­сле­ду­емых ма­тери­алов.

В ус­ло­ви­ях цик­ли­чес­ко­го наг­ру­жения фор­ми­рова­ние та­ких на­нос­трук­ту­риро­ван­ных сло­ев по­ложи­тельно ска­зыва­ет­ся на ус­та­лос­тных ха­рак­те­рис­ти­ках ис­сле­ду­емых ма­тери­алов. Ус­та­лос­тная проч­ность ста­ли 1Х15Н4АМЗ-Ш при им­план­та­ции и­онов А1В+ по­выша­ет­ся с 700 МПа до 880 МПа на ба­зе 106 цик­лов.

На­нос­трук­ту­риро­ван­ная по­вер­хность слоя по­дав­ля­ет раз­ви­тие плас­ти­чес­кой де­фор­ма­ции на ме­зо­уров­не и по­выша­ет нап­ря­жение за­рож­де­ния и раз­ви­тия тре­щин в по­верх­нос­тных сло­ях вы­сокоп­рочных ста­лей.

Ра­ботос­по­соб­ность конс­трук­ций ог­ра­ничи­ва­ет­ся из­на­шива­ни­ем их по­верх­нос­ти тол­щи­ной в нес­колько де­сятых мил­ли­мет­ра. В этом слу­чае эко­номи­чес­ки вы­год­ным яв­ля­ет­ся вос­ста­нов­ле­ние из­но­шен­ных по­вер­хнос­тей на­несе­ни­ем пок­ры­тий га­зотер­ми­чес­ким спо­собом.

Из­но­сос­тойкие пок­ры­тия, уп­рочнен­ные на­нораз­мерны­ми фа­зами, име­ют сле­ду­ющие дос­то­инс­тва:

  • в 20 раз меньший из­нос конт­рте­ла по срав­не­нию с пок­ры­ти­ями, уп­рочнен­ны­ми мик­ро­раз­мерны­ми фа­зами;
  • ми­нимальный из­нос ма­тери­ала пок­ры­тия (при рас­сто­яни­ях меж­ду уп­рочня­ющи­ми фа­зами пок­ры­тий меньши­ми, чем раз­мер из­на­шива­ющих пок­ры­тие час­тиц);
  • ко­эф­фи­ци­ент тре­ния кер­метных пок­ры­тий с на­нораз­мерны­ми фа­зами WC на 20% меньше, чем у пок­ры­тий, уп­рочнен­ных мик­ро­раз­мерны­ми фа­зами WC.

За­щит­ные пок­ры­тия для ме­тал­ло­об­ра­баты­ва­юще­го инс­тру­мен­та дол­жны об­ла­дать со­чета­ни­ем вы­сокой твер­дости и из­но­сос­тойкос­ти с вы­сокой тер­ми­чес­кой ста­бильностью и жа­рос­тойкостью. В ра­ботах сот­рудни­ков МИ­СиСа при­меня­ли на­нос­трук­турные пок­ры­тия на ос­но­ве Me—N (ме­тал­лы: Ti, Cr, A1; не­метал­лы: Si, В, С), ко­торые осаж­да­ли пу­тем маг­нетрон­но­го рас­пы­ления мно­гофаз­ных ми­шеней в ар­го­не и га­зовых сме­сях ар­го­на с азо­том.

Ус­та­нов­ле­но, что пок­ры­тия оп­ти­мально­го сос­та­ва сох­ра­ня­ют твер­дость 30…40 ГПа, ад­ге­зи­он­ную проч­ность 40…50 Н пос­ле ва­ку­ум­но­го от­жи­га при 600…1000°С. Пок­ры­тия про­демонс­три­рова­ли ста­бильный ко­эф­фи­ци­ент тре­ния на уров­не 0,75…0,85 и срав­ни­тельно низ­кую ско­рость из­но­са в па­ре с ок­сидной ке­рами­кой при тем­пе­рату­рах 20…700°С.

 

Наноструктурные покрытия для машиностроения

На­нос­трук­турные пок­ры­тия ши­роко ис­пользу­ют­ся в ма­шинос­тро­ении. Бла­года­ря вы­сокой твер­дости и из­но­сос­тойкос­ти в со­чета­нии с теп­лостойкостью их при­меня­ют для ре­жущих инс­тру­мен­тов и де­талей уз­лов тре­ния. Мно­гос­лойные на­нос­трук­турные пок­ры­тия Ti—B—C/Ti—C—N со­чета­ют в се­бе вы­сокую из­но­сос­тойкость с кор­ро­зи­он­ной стойкостью. Их про­из­водс­тво ос­во­ено в про­мыш­ленных мас­шта­бах.

По хи­мичес­ко­му сос­та­ву на­нос­трук­ту­риро­ван­ные пок­ры­тия мо­гут быть ме­тал­ли­чес­ки­ми, ке­рами­чес­ки­ми, по­лимер­ны­ми или ме­тал­ло­поли­мер­ны­ми, ме­тал­ло­кера­мико­поли­мер­ны­ми.

По фун­кци­ональным ха­рак­те­рис­ти­кам раз­ли­ча­ют из­но­сос­тойкие, ан­тифрик­ци­он­ные, кор­ро­зи­он­но-стойкие, жа­рос­тойкие пок­ры­тия.

Из­но­сос­тойкие пок­ры­тия. Для соп­ро­тив­ле­ния аб­ра­зив­но­му и ад­ге­зи­он­но­му из­на­шива­нию пок­ры­тия дол­жны об­ла­дать вы­сокой твер­достью (Н). Кро­ме то­го, они дол­жны иметь низ­кий мо­дуль уп­ру­гос­ти (Е) и вы­сокое уп­ру­гое вос­ста­нов­ле­ние (W), что осо­бен­но важ­но в ус­ло­ви­ях удар­ных аб­ра­зив­ных воз­действий. Для оцен­ки из­но­со­стойкос­ти мо­жет ис­пользо­ваться со­от­но­шение твер­дости и уп­ру­гос­ти (Н/ Е), ха­рак­те­ризу­ющее стойкость ма­тери­ала к уп­ру­гой де­фор­ма­ции раз­ру­шения. Пок­ры­тия дол­жны об­ла­дать вы­соким соп­ро­тив­ле­ни­ем плас­ти­чес­кой де­фор­ма­ции.

Ши­рокое рас­простра­нение по­лучи­ли пок­ры­тия нит­ри­да ти­тана TiN. Для фор­ми­рова­ния на­нос­трук­турно­го сос­то­яния в сис­те­му Ti—N вво­дят до­пол­ни­тельные эле­мен­ты, нап­ри­мер, крем­ний и/или бор. В ре­зульта­те раз­мер крис­талли­тов уменьша­ет­ся с со­тен до еди­ниц на­номет­ров. Та­кой эф­фект свя­зан с тем, что при осаж­де­нии пок­ры­тий T—Si—N и Ti—B—N фор­ми­ру­ют­ся крис­талли­чес­кие фа­зы на ос­но­ве TiN, TiB2 или TiB, име­ющие ог­ра­ничен­ную рас­тво­римость третьего эле­мен­та (Si, В или N). Про­ис­хо­дит сег­ре­гация этих эле­мен­тов по гра­ницам крис­талли­тов, тор­мо­жение про­цес­са рек­ристал­ли­зации и фор­ми­рова­ние амор­фной фа­зы.

На­нос­трук­турные пок­ры­тия Ti—Si—N име­ют вы­сокую твер­дость (30…45 ГПа) и дос­та­точ­но низ­кий мо­дуль уп­ру­гос­ти (200…250 ГПа). Ме­хани­чес­кие свойства их за­висят от со­дер­жа­ния крем­ния и при 5…10 ат. % Si дос­ти­га­ют мак­си­мальных зна­чений. Пок­ры­тия Ti—Si—N ха­рак­те­ризу­ют­ся вы­соким соп­ро­тив­ле­ни­ем аб­ра­зив­но­му из­но­су. Мак­си­мальная твер­дость дос­ти­га­ет­ся за счет фор­ми­рова­ния струк­ту­ры, сос­то­ящей из на­но­крис­талли­тов твер­дой фа­зы, раз­де­лен­ных тон­ки­ми прос­лойка­ми амор­фной фа­зы.

На­нос­трук­турные пок­ры­тия Ti—B—N ха­рак­те­ризу­ют­ся вы­сокой твер­достью (30…55 ГПа), ус­тойчи­востью к удар­ным воз­действи­ям и аб­ра­зив­но­му из­но­су.

Свер­хвы­сокую твер­дость (при­мер­но 70 ГПа) име­ют пок­ры­тия сос­та­ва Ti—Si—B—N. Хо­рошие ре­зульта­ты это пок­ры­тие по­каза­ло при ис­пы­тани­ях ре­жуще­го инс­тру­мен­та.

До­бав­ка алю­миния в бо­ронит­ридные пок­ры­тия спо­собс­тву­ет по­луче­нию ультра­мел­ко­зер­нистой струк­ту­ры. Пок­ры­тия Ti—Al— B—N со­дер­жат крис­талли­ты раз­ме­ром 0,3…0,8 нм. Та­кие пок­ры­тия пре­вос­хо­дят по из­но­сос­тойкос­ти пок­ры­тия Ti—B—N, син­те­зиро­ван­ные пу­тем элек­трон­но-лу­чево­го ис­па­рения.

Вве­дение уг­ле­рода в пок­ры­тия Ti—B—C—N и Ti—Si—C—N спо­собс­тву­ет сни­жению ко­эф­фи­ци­ен­та тре­ния до 0,2…0,3, что объяс­ня­ет­ся по­ложи­тельным вли­яни­ем уг­ле­рода, иг­ра­юще­го роль твер­дой смаз­ки.

Ан­тифрик­ци­он­ные пок­ры­тия. Для де­талей кос­ми­чес­ких ап­па­ратов ис­пользу­ют на­нос­трук­турные пок­ры­тия ти­па «ха­меле­он». В про­цес­се тре­ния хи­мичес­кий сос­тав три­боло­гичес­ких сло­ев на по­вер­хнос­ти пок­ры­тий из­ме­ня­ет­ся в за­виси­мос­ти от сос­та­ва и тем­пе­рату­ры ок­ру­жа­ющей сре­ды, по­это­му пок­ры­тия и по­лучи­ли та­кое наз­ва­ние. Твер­дые фа­зы WC, TiC, A12О3 обес­пе­чива­ют вы­сокую из­но­сос­тойкость, а сма­зыва­ющие фа­зы (С, WS2, BN и др.) сни­жа­ют ко­эф­фи­ци­ент тре­ния в кон­так­тной па­ре.

На­ибо­лее час­то в на­ноком­по­зитах, как и в сло­ис­тых пок­ры­ти­ях, в ка­чес­тве сма­зыва­ющей фа­зы ис­пользу­ет­ся ди­сульфид мо­либ­де­на MoS2. Из­вес­тны пок­ры­тия Ti—MoS2, TiN—MoS2, Ti—SiN— MoS2, TiB2—MoS2 и др.

Се­лени­ды вольфра­ма ха­рак­те­ризу­ют­ся ста­бильно низ­ким ко­эф­фи­ци­ен­том тре­ния и вы­сокой стойкостью к окис­ле­нию при по­вышен­ной влаж­ности воз­ду­ха.

Двух­слойные пок­ры­тия WSex /TiC, WSex /Ti—C—N и WSex /Ti— Si—N, в ко­торых верх­ние слои сос­то­ят из на­нок­ристал­ли­чес­ких фаз WSe x и W30, вклю­чен­ных в амор­фную мат­ри­цу WSe x, ха­рак­те­ризу­ют­ся ста­бильно низ­ким ко­эф­фи­ци­ен­том тре­ния как на воз­ду­хе (0,015…0,050), так и в во­де (0,06…0,07).

Кор­ро­зи­он­но-стойкие и жа­рос­тойкие пок­ры­тия. Кор­ро­зи­он­ная стойкость пок­ры­тий оп­ре­деля­ет­ся их хи­мичес­ким сос­та­вом, струк­ту­рой и в меньшей сте­пени за­висит от раз­ме­ров крис­талли­тов.

Пок­ры­тия Ti—Cr—B—N ха­рак­те­ризу­ют­ся бо­лее вы­соки­ми по­ложи­тельны­ми зна­чени­ями по­тен­ци­ала сво­бод­ной кор­ро­зии и ско­ростью кор­ро­зии, в че­тыре ра­за меньшей, чем в пок­ры­ти­ях Ti—B—N. При уве­личе­нии со­дер­жа­ния хро­ма в пок­ры­ти­ях Ti—Cr—B—N кор­ро­зи­он­ная стойкость уве­личи­ва­ет­ся. Пер­спек­тивным кор­ро­зи­он­но-стойким ма­тери­алом яв­ля­ет­ся ди­борид хро­ма. Пок­ры­тия на ос­но­ве СrВ2 об­ла­да­ют вы­соким соп­ро­тив­ле­ни­ем из­но­су в ус­ло­ви­ях воз­действия кор­ро­зи­он­ных сред. На­нос­трук­турные пок­ры­тия в сис­те­ме Cr—B—N, сос­то­ящие из крис­талли­тов СrВ2 и амор­фных об­ластей на ос­но­ве нит­ри­да бо­ра, об­ла­да­ют вы­сокой кор­ро­зи­он­ной стойкостью в со­чета­нии с из­но­сос­тойкостью.

Тер­ми­чес­кая ста­бильность и жа­рос­тойкость оп­ре­деля­ют дол­го­веч­ность пок­ры­тий, ра­бота­ющих при вы­соких тем­пе­рату­рах. В от­ли­чие от мик­рокрис­талли­чес­ких пок­ры­тий твер­дость на­нос­трук­турных не сни­жа­ет­ся вплоть до 1000°С. При этом в ди­апа­зоне тем­пе­ратур от 20 до 1000°С пок­ры­тия име­ют ста­бильную струк­ту­ру со сред­ним раз­ме­ром крис­талли­тов 2…5 нм. Амор­фные меж­зе­рен­ные прос­лойки пре­пятс­тву­ют про­цес­су их рек­ристал­ли­зации. Вы­соко­тем­пе­ратур­ный от­жиг (800…900°С) пок­ры­тий Al—Ti—Si—N и W—Si—N спо­собс­тву­ет уве­личе­нию их твер­дости.

Твер­дость пок­ры­тий Ti—B—N и Ti—Cr—B—N при наг­ре­ве до 1000°С сох­ра­ня­ет­ся на уров­не 25…30 ГПа.

Жа­рос­тойкость пок­ры­тий воз­раста­ет при вве­дении в их сос­тав эле­мен­тов, об­ра­зу­ющих на по­вер­хнос­ти за­щит­ные ок­сидные слои (А1, Сr, Si).

Ис­сле­дова­ние ус­тойчи­вос­ти на­нос­трук­тур при вы­соко­тем­пе­ратур­ном от­пуске пле­нок Ti—Si—N и Ti—Al—Si—N по­каза­ло, что тем­пе­рату­ра рек­ристал­ли­зации уве­личи­ва­ет­ся с 850°С при раз­ме­ре на­нок­ристал­лов d ³ 5 нм до 1150°С при d £ 3 нм, что свя­зыва­лось со ста­били­заци­ей гра­ниц раз­де­ла в ре­зульта­те сег­ре­гации. Плен­ки Ti—Si—N так­же об­ла­да­ют по­вышен­ной стойкостью к вы­соко­тем­пе­ратур­но­му окис­ле­нию по срав­не­нию с TiC и TiN. Из­вес­тно по­ложи­тельное вли­яние алю­миния на ус­тойчи­вость пок­ры­тий к вы­соко­тем­пе­ратур­но­му окис­ле­нию. При низ­ких тем­пе­рату­рах от­пуска бла­года­ря при­сутс­твию алю­миния кис­ло­род рас­тво­ря­ет­ся в ГЦК-ре­шет­ке (Ti, Al)1-x (C, N) x. При бо­лее вы­соких тем­пе­рату­рах алю­миний диф­фунди­ру­ет к по­вер­хнос­ти пок­ры­тия, что при­водит к об­ра­зова­нию за­щит­но­го слоя Al2O3, пре­пятс­тву­юще­го дальнейше­му окис­ле­нию.

Струк­ту­ра на­нопок­ры­тий Al—Ti—B—N сос­то­ит из крис­талли­чес­ких и амор­фных учас­тков раз­ме­ром нес­колько ангстрем. Фо­тог­ра­фии, по­лучен­ные с по­мощью элек­трон­но­го мик­роско­па, поз­во­ля­ют иден­ти­фици­ровать от­дельные фа­зы на­нок­ристал­ли­чес­ких раз­ме­ров в сос­та­ве ана­лизи­ру­емых пок­ры­тий.

Срав­ни­тельные дан­ные по кор­ро­зи­он­но-элек­тро­хими­чес­ко­му по­веде­нию на­нораз­мерных ма­тери­алов и ана­логич­ных по сос­та­ву тон­ких пле­нок со сред­ним раз­ме­ром крис­талли­тов 2…5 нм ука­зыва­ют на су­щес­твен­ное по­ниже­ние ско­рос­ти кор­ро­зии пле­нок (при­мер­но до 1000 раз), что свя­зано с их на­нос­трук­турным сос­то­яни­ем. Кро­ме то­го, кор­ро­зия пле­нок на ос­но­ве TiC—Fe—S—Mo име­ет яр­ко вы­ражен­ный се­лек­тивный ха­рак­тер. Пре­иму­щес­твен­ное рас­тво­рение ме­нее стойко­го ком­по­нен­та, преж­де все­го же­леза, при­води­ло к обо­гаще­нию по­вер­хнос­ти крем­ни­ем и об­ра­зова­нию за­щит­ной плен­ки SiO2. К об­щим ре­комен­да­ци­ям мож­но от­нести уве­личе­ние тол­щи­ны пок­ры­тий, уменьше­ние ше­рохо­ватос­ти по­вер­хнос­ти, по­луче­ние плот­ной струк­ту­ры с от­сутс­тви­ем пор и мик­ро­от­вер­стий.

Ком­по­зит­ные на­нос­трук­турные по­лимер­ные пок­ры­тия. Твер­до­фаз­ный ме­хано­хими­чес­кий ме­тод поз­во­ля­ет по­лучать но­вые ма­тери­алы—ме­талл—фтор­по­лимер­ные и ме­талл—ке­рами­ка—фтор­по­лимер­ные ком­по­зиты, об­ла­да­ющие вы­сокой элек­троп­ро­вод­ностью, ус­тойчи­востью к элек­тро­эро­зии, низ­ким ко­эф­фи­ци­ен­том тре­ния и ус­тойчи­востью к ме­хани­чес­ко­му ис­ти­ра­юще­му воз­действию. При ме­хано­хими­чес­кой об­ра­бот­ке сме­сей по­рош­ков нес­ме­шива­ющих­ся ме­тал­лов — вольфра­ма и ме­ди с до­бав­кой по­литет­рафто­рэти­лена (до 1 мас. %) об­ра­зу­ют­ся ком­по­зит­ные час­ти­цы раз­ме­ром 30…60 нм. До­бав­ки по­литет­рафто­рэти­лена улуч­ша­ют прес­су­емость ма­тери­ала, уве­личи­вая плот­ность спрес­со­ван­ных за­гото­вок. Ко­эф­фи­ци­ент тре­ния ком­по­зит­но­го пок­ры­тия W—Cu—ПТФЭ бли­зок к ко­эф­фи­ци­ен­ту тре­ния мас­сивно­го фто­роп­ласта. Ме­хани­чес­кая об­ра­бот­ка в при­сутс­твии по­литет­рафто­рэти­лена ком­по­зитов WC—Cu, TiB2—Cu и (TiB2—Cu)—W, ке­рами­чес­кие час­ти­цы в ко­торых по­луче­ны твер­до­фаз­ны­ми ре­ак­ци­ями, поз­во­ля­ет по­лучать эро­зи­он­но-стойкие ма­тери­алы с низ­ким ко­эф­фи­ци­ен­том тре­ния.

Та­ким ме­тодом по­луча­ют то­коп­ро­водя­щие пок­ры­тия (Cu + ПТФЭ) с низ­ким ко­эф­фи­ци­ен­том су­хого тре­ния для раз­личных сис­тем скользя­щего то­косъема. Нап­ри­мер, в трол­лейбус­ных то­косъем­ни­ках ис­пользу­ют­ся встав­ки с медь-по­лимер­ным пок­ры­ти­ем.

Эф­фектив­ным спо­собом по­выше­ния фи­зико-ме­хани­чес­ких ха­рак­те­рис­тик пок­ры­тий на ос­но­ве свер­хвы­соко­моле­куляр­но­го по­ли­эти­лена (СВМПЭ) яв­ля­ет­ся ис­пользо­вание в ка­чес­тве на­пол­ни­теля ультра­дис­пер­сных по­рош­ков Al2O3 и ZrO2, по­лучен­ных ме­тодом плаз­мо­хими­чес­ко­го син­те­за, а так­же уг­ле­род­ное на­ново­лок­но. Мо­дифи­циро­вание СВМПЭ ультра­дис­пер­сны­ми по­рош­ка­ми ок­си­дов алю­миния и цир­ко­ния, про­шед­ших пред­ва­рительную об­ра­бот­ку ме­тода­ми по­рош­ко­вой ме­тал­лургии, обес­пе­чива­ет по­выше­ние в нес­колько раз ад­ге­зи­он­ной проч­ности, из­но­сос­тойкос­ти, ис­клю­ча­ет тер­мо­усад­ку.

Не­большие до­бав­ки (0,25…0,5 мас. %) на­нодис­пер­сных по­рош­ков ме­тал­лов в ком­би­ниро­ван­ный на­пол­ни­тель для шин­ных ре­зин на ос­но­ве ка­учу­ков об­ще­го наз­на­чения улуч­ша­ет их фи­зико-ме­хани­чес­кие и экс­плу­ата­ци­он­ные свойства: ус­ловную проч­ность, соп­ро­тив­ле­ние раз­ди­ру и проч­ность свя­зи ре­зины с ме­тал­ло­кор­дом. На­нок­ристал­ли­чес­кие по­рош­ки ме­тал­лов по­луча­ют ме­тодом ис­па­рения-кон­денса­ции, вклю­ча­ющим в се­бя рас­плав­ле­ние и ис­па­рение ме­тал­ла, кон­денса­цию па­ра в сре­де инер­тно­го га­за и на­коп­ле­ние об­ра­зовав­ше­гося по­рош­ка в хо­лод­ной час­ти объема ап­па­рата.

 

Сверхтвердые покрытия из нанокомпозитов

Сверх­твер­дые пок­ры­тия из на­ноком­по­зитов име­ют большие по­тен­ци­альные воз­можнос­ти для улуч­ше­ния ха­рак­те­рис­тик раз­личных ра­бочих по­вер­хнос­тей (нап­ри­мер, ре­жуще­го инс­тру­мен­та). Обыч­но сверх­твер­ды­ми счи­та­ют­ся ма­тери­алы, име­ющие мик­ротвер­дость в ди­апа­зоне меж­ду 40 и 80 ГПа. Большинс­тво на­нос­трук­турных пок­ры­тий раз­лично­го наз­на­чения име­ют мик­ротвер­дость бли­же к ниж­ней гра­нице, в ин­терва­ле 35…40 ГПа. Пок­ры­тия с твер­достью бо­лее 80 ГПа клас­си­фици­ру­ют­ся как ультрат­вердые.

На­нос­трук­турные пок­ры­тия не яв­ля­ют­ся прос­то по­лик­ристал­ли­чес­ки­ми по­кры­ти­ями с уменьшен­ным раз­ме­ром зе­рен. Свойства на­нос­трук­турных пок­ры­тий ра­дикально от­ли­ча­ют­ся от свойств мик­рокрис­талли­чес­ких пок­ры­тий та­кого же сос­та­ва.

Меж­зе­рен­ные и меж­фазные гра­ницы крис­талли­чес­кой струк­ту­ры яв­ля­ют­ся дву­мер­ны­ми (или плос­ки­ми) де­фек­та­ми этой струк­ту­ры с вы­сокой плот­ностью гра­ниц. Вы­сокая плот­ность гра­ниц тран­сфор­ми­ру­ет мик­рокрис­талли­чес­кую струк­ту­ру в но­вый тип струк­ту­ры — на­нос­трук­ту­ру. На­нос­трук­турные пок­ры­тия в про­тиво­вес круп­но­зер­нистым по­лик­ристал­ли­чес­ким, име­ющим сред­ний раз­мер зе­рен бо­лее 1 мкм, мо­гут быть оп­ре­деле­ны как пок­ры­тия, име­ющие бо­лее вы­сокую плот­ность гра­ниц. Что­бы по­лучить на­но­струк­турное сос­то­яние, раз­мерность струк­турных эле­мен­тов (т. е. сред­ний ди­аметр зе­рен, тол­щи­на сло­ев и т. п.) дол­жна на­ходиться в на­номас­штаб­ном ди­апа­зоне (ме­нее 100 нм).



Поделиться:




Поиск по сайту

©2015-2024 poisk-ru.ru
Все права принадлежать их авторам. Данный сайт не претендует на авторства, а предоставляет бесплатное использование.
Дата создания страницы: 2022-11-13 Нарушение авторских прав и Нарушение персональных данных


Поиск по сайту: