Проводится контроль состояния поверхности пластин и их формы.
При оценке состояния рабочей поверхности пластин учитывается наличие ямок, светящихся точек, пятен, подтеков, сколов, исчезающих и неисчезающих рисок и трещин.
Для этого используются стереоскопические микроскопы МБС–2 и МБС–9, в которых наблюдается поверхность пластин в пучке света, падающем под определенным углом.
Толщину, разнотолщинность и прогиб пластин контролируют емкостным методом также, как после резки и шлифовки. Для контроля не плоскостности используют методы интерферометрии или лазерного сканирования.
При интерферометрическом контроле формы рабочей поверхности сравнивают с эталонной плоскостью призмы интерферометра. На экране наблюдают интерференциальную картину, по виду и числу полос которой можно судить о форме поверхности и значении максимальной неплоскостности.
При лазерном сканировании кроме максимальной можно получить данные о локальной неплоскостности на площади 1 или 2 см2.
Рис.4. Локальные неплоскостности при лазерном сканировании
Химподготовка пластин
Источники загрязнения поверхности и классификация загрязнений
Источники загрязнения поверхности:
-абразивные, смазочные и клеящие материалы при механической обработке
- человек (продукты дыхания, косметика, …)
-инструмент, оснастка, тара
- технологические среды (газы, вода, химреактивы)
- грязь из производственных помещений
Классификация загрязнений
- молекулярные (жиры, пыль и т.д.) – связь с поверхностью – электростатическая
- ионные (растворимые в воде соли, кислоты, основания)
- металлические (атомы металлов – золото, серебро, медь,
железо) из химических реактивов
Деионизованная вода. Получение. Основные характеристики технологической деионизованной воды
Деионизованная вода
- Средний уровень чистоты 99,9999%, что соответствует концентрации остаточных ионов 2·10-6% или ρ = 17-18 МОм·см
- 18,24 МОм – теоретически очищенная вода
- Деионизованная вода 17-18 МОм·см является сильным растворителем:
положительное – растворение химсоединений на поверхности
отрицательное – вымывание грязи из трубопроводов и фильтров и перенос на поверхность подложки
Основной характеристикой технологической деионизованной воды является удельное сопротивление. Чем чище вода, тем мень в ней ионов тем хуже проводимость,тем выше удельное сопротивление(ВРОДЕ ОН ТАК ГОВОРИЛ)
Гидромеханическая отмывка
Гидромеханическая отмывка – это комплексный способ удаления микроскопических загрязнений с полированной поверхности пластин проточной водой и мягкими вращающимися щётками или кистями. Кисти изготовляют из беличьего меха, а щётки из искусственных материалов (капрона, нейлона). Крепление пластин осуществляется вакуумным присосом. Деионизованную воду подают на пластины под давлением 50–200 кПа. При расходе воды на 1Л/ мин длительность процесса 5–7 минут. Предварительно, чтобы ослабить связи загрязнений с поверхностью и облегчить из механическое удаление, пластины обрабатывают в кислотах или растворителях.
Основные недостатки гидромеханической отмывки является загрязнение кистей и щёток и, следовательно, перенос загрязнений с одной партии обрабатываемых пластин на другую. Поэтому кисти и щётки надо регулярно промывать, а это трудоёмко.