Важнейшими показателями эффективности являются прибыль и рентабельность. Уровень рентабельности зависит от величины прибыли и размера затрат.
Рентабельность выражает относительный размер прибыли на 1 рубль текущих затрат.
Прибыль – это разность между ценой и себестоимостью.
Годовой экономический эффект от внедрения мероприятий по дипломной работе рассчитывается следующим образом:
, (4.4)
где Спр – производственная себестоимость по базовому и предлагаемому вариантам, руб.;
Гпв – годовая программа выпуска.
(руб.)
| Изм. |
| Лист |
| № докум. |
| Подпись |
| Дата |
| Лист |
| ДП6МЭ.ТТ026.101ПЗ |
Показатели экономической эффективности рассчитанные в экономической части дипломного проекта позволяют сделать вывод, что принятые мероприятия по оптимизации процесса приводят к повышению эффективности производства, снижению процента брака, изготовленных изделий, а главное к снижению себестоимости продукции и увеличению прибыли и рентабельности производства.
Расчеты показали, что проведенные мною изменения снизили себестоимость продукции, увеличили прибыль и рентабельность.
5. Охрана труда и окружающей среды
Охрана труда - это система правовых, социально-экономических, организационных, технических, санитарно-гигиенических и лечебнопрофилактических мероприятий и средств, обеспечивающих безопасность, сохранение здоровья и работоспособности человека в процессе труда
При проведении ПХТ основным источником опасности является высокое напряжение и движущиеся части установок и вакуумных насосов.
Поэтому для обеспечения охраны труда на рабочем месте, необходимо, чтобы все ограждения установок и отдельных блоков должны быть снабжены блокирующими устройствами, также должны быть блокированы все подходы к высоковольтным устройствам, съемным колпакам и другим элементам установок, через которые возможен доступ к высоковольтным блокам.
Блокировкой должны быть снабжены и вакуумные системы.
При проведении процесса ПХТ, также возможно воздействие электромагнитного поля на рабочий персонал, источником которого являются генераторы.
| Изм. |
| Лист |
| № докум. |
| Подпись |
| Дата |
| Лист |
| ДП6МЭ.ТТ026.101ПЗ |
Электромагнитный спектр радиочастотного диапазона условно разделен на четыре частотных диапазона: низкочастотные (НЧ) до 30 кГц; высокочастотные (ВЧ) до 30 МГц; ультравысокочастотные (УВЧ) до 300 Мгц; сверхвысокочастотные (СВЧ) до 300 ГГц.
Воздействие ЭМП может вызвать у работающих:
- головную боль, вялость, расстройство сна, снижение памяти, повышенную раздражительность, апатию, боли в сердце, нарушение сердечных сокращений, понижение или повышение давления, нарушение деятельности эндокринной системы;
- трофические расстройства: похудение, выпадение волос, ломкость ногтей.
Методы и средства защиты от ЭМП:
- уменьшение мощности генерирования поля и излучения непосредственно в его источнике (обусловлено правильным выбором генератора, применением поглотителей энергии из материалов углеродистого состава или из специальных диэлектриков);
- увеличение расстояния от источника излучения;
- уменьшение времени пребывания в поле и под воздействием излучения;
- экранирование излучения применением отражающих и поглощающих экранов, а также все экраны обязательно должны заземляться для обеспечения стекания образующихся на них зарядов в землю;
- применение средств индивидуальной защиты.
При контакте с организмом человека вредные вещества (пары, газы, аэрозоли),могут вызывать изменения в состоянии здоровья или заболевания.
Вредное вещество - это вещество, которое при контакте с организмом человека в случае нарушения требований безопасности может вызвать
| Изм. |
| Лист |
| № докум. |
| Подпись |
| Дата |
| Лист |
| ДП6МЭ.ТТ026.101ПЗ |
ПХТ не является исключением, при проведении ТП, также применяются вредные вещества, которые могут неблагоприятно влиять на работающий персонал.
Пыли (аэрозоли) не обладают выраженной токсичностью. Они, попадая в органы дыхания, вызывают повреждения слизистой оболочки верхних дыхательных путей и, задерживаясь в легких, вызывают воспаление легочной ткани. Профессиональные заболевания, связанные с воздействием аэрозолей, называются пневмокониозами. Результатом вдыхания человеком пыли являются пневмосклерозы, хронические пылевые бронхиты, пневмонии, туберкулезы, рак легких.
- Запылённость и загазованность воздуха рабочей зоны нормируется с помощью предельно-допустимой концентрации (ПДК) вредных веществ в воздухе рабочей зоны.
ПДК (мг/м) - это такие концентрации, которые при ежедневной работе (кроме выходных дней) продолжительностью не более 40 часов в неделю в течение рабочего стажа не вызывают заболеваний или отклонений здоровья (обнаруживаемых современными методами исследований) в процессе работы или в отдаленные сроки жизни настоящих и последующих поколений.
По степени воздействия на организм человека вредные вещества делятся на четыре класса:
- чрезвычайно опасные (ПДК меньше 0,1 мг/м3);
- высоко опасные (ПДК 0,1 - 1,0 мг/м3);
- умеренно опасные (ПДК 1,1-10,0 мг/м3);
- мало опасные (ПДК более 10мг/м3).
Мероприятия по защите от воздействия вредных веществ:
| Изм. |
| Лист |
| № докум. |
| Подпись |
| Дата |
| Лист |
| ДП6МЭ.ТТ026.101ПЗ |
- внедрение комплексной механизации и автоматизации производственных процессов, применение дистанционного управления и автоматизации контроля за ходом технологического процесса;
- замена вредных веществ в производстве на безвредные или менее вредные;
- гигиеническая стандартизация химического сырья и продукции;
- организация систематического санитарно-химического контроля воздуха рабочей зоны;
- санитарно-бытовое и лечебно-профилактическое обеспечение работающих;
- эффективная вентиляция производственных помещений.
При проведении ПХТ возможно поражение работников электрическим током, поэтому необходимо соблюдать электробезопасность.
Электробезопасность - это система организационных и технических мероприятий и средств, обеспечивающие защиту людей от вредного и опасного воздействия электрического тока, электрической дуги, электромагнитного поля и статического электричества.
Поражение человека электрическим током возможно только при замыкании электрической цепи через тело человека:
- прикосновении к открытым токоведущим частям оборудования и проводам;
- прикосновении к корпусам электроустановок, случайно оказавшимся под напряжением (повреждение изоляции);
- освобождении человека, находящегося под напряжением;
Обеспечение электробезопасности техническими способами:
-
| Изм. |
| Лист |
| № докум. |
| Подпись |
| Дата |
| Лист |
| ДП6МЭ.ТТ026.101ПЗ |
- защитное заземление - это преднамеренное электрическое соединение с землёй металлических нетоковедущих частей электроустановок, которые могут оказаться под напряжением;
- применение малого напряжения.
- защита от случайного прикосновения к токоведущим частям предполагает их расположение на высоте, недоступной для прикосновения или применение ограждения, блокировки, сигнализации.
Требования к персоналу, обслуживающему электроустановки.
Эксплуатацию действующих электроустановок должен осуществлять специально подготовленный персонал.
Действующими считаются не только электроустановки, находящиеся под напряжением, но и те, на которые в любой момент времени может быть подано напряжение.
Персонал, работающий в действующих электроустановках, должен обладать определённой квалификацией не только по специальности, но и по технике безопасности. Такому персоналу присваивается группа по электробезопасности.
Группа по электробезопасности персонала - это группа, характеризующая уровень знаний работником требований норм и знаний по устройству и технике безопасности, эксплуатации электроустановок, умение практически выполнять их и оказывать первую помощь пострадавшим от электрического тока.
Рабочему персоналу участка ПХТ присваивается Группа V по электробезопасности, которая требует от работника наиболее полных и твёрдых знаний правил по электробезопасности, а также схем и оборудования своего участка.
| Изм. |
| Лист |
| № докум. |
| Подпись |
| Дата |
| Лист |
| ДП6МЭ.ТТ026.101ПЗ |
Для исключения и уменьшения воздействия вредных производственных факторов (ВПФ) и опасных производственных факторов (ОПФ), необходимо использовать средства защиты работающих.
Средства защиты работающих - это средства, применение которых предотвращает или уменьшает воздействие на работающих ОПФ и ВПФ.
Средства защиты подразделяются на:
- коллективные - обеспечивают защиту всех работающих на участке;
- индивидуальные - используется лично работником для предотвращения или уменьшения воздействия на него ОПФ и ВПФ.
Средства коллективной защиты (СКЗ) классифицируются в зависимости от ОПФ и ВПФ, а средства индивидуальной защиты (СИЗ) - в основном в зависимости от защищаемых органов или группы органов. СИЗ являются вспомогательными средствами и применяются в тех случаях, когда безопасность не обеспечивается за счет применения СКЗ.
По техническому исполнению СКЗ могут быть разделены на следующие группы:
- ограждения;
- блокировочные, тормозные, предохранительные устройства;
- световая и звуковая сигнализация;
- знаки безопасности;
- вентиляция;
- изолирующие, герметизирующие средства.
СИЗ подразделяются на следующие виды:
- изолирующие костюмы;
- средства защиты органов дыхания (противогазы, респираторы);
- специальная одежда (комбинезоны, халаты, костюмы);
- специальная обувь;
-
| Изм. |
| Лист |
| № докум. |
| Подпись |
| Дата |
| Лист |
| ДП6МЭ.ТТ026.101ПЗ |
При проведении процессов ПХТ, необходимо не забывать о соблюдении мероприятий по охране окружающей среды (ООС).
Наибольшую опасность при проведении процессов ПХТ для окружающей среды (ОС) представляет выброс в атмосферу загрязняющих веществ, поэтому обязательно должны проводиться мероприятия по снижению и возможному исключению выбросов загрязняющих веществ в ОС.
Основными направлениями по ООС должны являться:
- подключение вытяжной вентиляции выхлопных патрубков вакуумных насосов к системе, оборудованной скрубберами;
- устранение или снижение, статистического напряжения и других физических факторов;
- применение мер, направленных на предотвращение проявление опасных и вредных производственных факторов в случаи аварии;
- использование газоанализаторов и сигнализаторов, связанных с автоматической системой защиты (автоблокировка, аварийная вентиляция);
-
| Изм. |
| Лист |
| № докум. |
| Подпись |
| Дата |
| Лист |
| ДП6МЭ.ТТ026.101ПЗ |
- сокращение водопотребления и водоотведения, широкое использование оборотного и повторного водоснабжения;
- улавливание, рекуперация и очистка технологических выбросов;
- контроль за точным соблюдением технологического регламента производства и за работой контрольно-измерительных приборов, автоматических систем управления технологическим процессом ПХТ.
Для поддержания ООС, необходимо строительство и ввод в действие нового оборудования по переработке отходов производства, повышение эффективности существующих природоохранных сооружений, а также профилактические и капитальные ремонты газопылеулавливающих сооружений.
| Изм. |
| Лист |
| № докум. |
| Подпись |
| Дата |
| Лист |
| ДП6МЭ.ТТ026.101ПЗ |
В процессе выполнения дипломной работы был проведен анализ литературных источников в части особенностей проведения плазменных методов травления технологических слоев, а так же рассмотрены газы для травления различных технологических слоев.
В технологическом разделе описан процесс травления алюминия и контроль качества, а так же виды брака, возникающие при этом процессе. Кроме того рассмотрено устройство и принцип действия установки для плазмохимического травления LAM690.
В экспериментальной части описаны результаты исследований по оптимизации режима травления. Выбраны оптимальные мощность, расход газа для травления, а так же определен оптимальный срок хранения пластин от задубливания до травления. Данные условия проведения процесса травления обеспечивают минимальный уход линейных размеров элементов и минимум дефектности.
В разделе «Охрана труда и окружающей среды» рассмотрены опасные и вредные факторы, возникающие на данной операции и меры их предупреждения.
В экономической части было проведено технико - экономическое обоснование предложенной оптимизации.
| Изм. |
| Лист |
| № докум. |
| Подпись |
| Дата |
| Лист |
| ДП6МЭ.ТТ026.101ПЗ |
1.Данилин Б.С., Киреев В.Ю. Применение низкотемпературной плазмы для травления и очистки материалов. М.: Энергоатомиздат. 1987.–264с.
2. Ивановский Г.Ф., Петров В.И. Ионно-плазменная обработка
материалов. М.: Радио и связь. 1986. – 232 с.
3. Черняев В.Н. Физико-химические процессы в технологии РЭА. М.:
Высшая школа. 1987. – 376 с.
4. Киреев В. Ю., Данилин Б. С., Кузнецов В. И. Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур. М.: Радио и связь, 1983. 128 с.
5. Плазменные процессы в производстве изделий электронной техники. В3-х т. Том2 / А.П. Достанко, С.В. Бордусов, И.В. Свадковский и др.; Под общ. ред. А.П. Достанко. – Минск: ФУАинформ, 2001. – 244 с.
6. Плазменная технология в производстве СБИС. / Под ред. Н.Айнспрука, Д.Брауна. Пер. с англ. М.: Мир. 1987. – 470 с.