ОКС 91.040
Изменение № 3 к СП 56.13330.2011 «СНиП 31-03-2001 Производственные здания» (с изменениями №1, №2)
УТВЕРЖДЕНО и введено в действие Приказом Министерства строительства и жилищно-коммунального хозяйства Российской Федерации (Минстрой России) от__________2019 г. № Дата введения ____________
Введение
Дополнить пятым абзацем в следующей редакции:
«Изменение № 3 разработано авторским коллективом АО «ЦНИИПромзданий» (д-р техн. наук В.В. Гранев, канд. техн. наук Т.Е. Стороженко, А.Е. Иванов).».
Основные положения
Пункт 4.3 Одиннадцатое перечисление. Заменить слово: «Федерации.» на «Федерации;».
Дополнить двенадцатым перечислением в следующей редакции:
«Выполнять проектирование, монтаж и эксплуатацию чистых помещений и связанных с ними контролируемых сред в соответствии с требованиями, обеспечивающими необходимые классы чистоты с учетом мер по энергосбережению для любых зданий, производств и систем вентиляции и кондиционирования или специальными требованиями для чистых помещений».
5 Объемно-планировочные и конструктивные решения
Пункт 5.7. Заменить ссылки: «ГОСТ Р 53770» на «ГОСТ 5746», «ГОСТ Р 53771» на «ГОСТ 8823».
Дополнить раздел 5 после пункта 5.61подразделом в следующей редакции:
«Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды для микроэлектроники и радиоэлектронной промышленности
5.62 При проектировании, строительстве и эксплуатации чистых помещений должно обеспечиваться выполнение эксплуатационных показателей, необходимых для стабильности параметров чистого помещения и связанных с ними контролируемых сред, с учетом их технического обслуживания. Класс чистоты воздуха помещения определяется в зависимости от предельно допустимых концентраций аэрозольных частиц в единице объема воздуха этого помещения по ГОСТ Р ИСО 14644-1-2017 (таблица 1) в построенном, оснащенном и эксплуатируемом помещении.
5.63 Требуемая периодичность контроля загрязнений и соответствующий класс чистоты помещений по ГОСТ Р ИСО 14644-1-2017 (таблица 1). назначается исходя из минимального размера топологического элемента или толщины пленки.
Для ограничения загрязнения могут использоваться рабочие зоны, которые защищены барьерами от загрязнений, колебания параметров внешней среды (температуры, влажности, давления и т. п.) Следует минимизировать занимаемое пространство, достигать концентрации материалов и продукции, разделения персонала и открытого продукта. Рабочие зоны следует отделять от соседних, менее критических зон, как правило, строительными барьерами или потоками воздуха. Зоны обслуживания, в которых расположены части оборудования, не входящие в рабочую зону, следует располагать рядом с соответствующей рабочей зоной.
5.64 Соответствие класса чистоты в построенном или оснащенном помещении проверяют периодически, не реже одного раза в год. Стандартный метод классификации чистоты воздуха по концентрации частиц приведен в приложении А ГОСТ Р ИСО 14644-1-2017. Альтернативный метод приведен в ГОСТ Р 56191.
5.65 При задании требований, обеспечивающих качество, надежность, экономичность и безопасность чистых помещений и связанных с ними контролируемых сред необходимо учитывать следующие факторы:
- загрязнения, отрицательно влияющие на процесс: частицы различных размеров (класс, размер по ГОСТ Р ИСО 14644-1), химические вещества (молекулярные, ионные, газообразные, конденсирующиеся вещества, металлы масса, характеристика слоев, концентрация по ГОСТ Р ИСО 14644-1);
- отрицательно влияющие вибрация, электромагнитные поля, радиочастотные воздействия при необходимости.
- характеристики технологического процесса: исходные материалы и энергоносители (вещество или энергия, требуемые для работы каждой единицы оборудования); перечень твердых веществ, используемых в процессе, с указанием чистоты/концентрации, включая их максимальные, минимальные и номинальные значения; для каждой единицы оборудования - перечень всех газов и жидкостей, используемых в процессе; требования к электроснабжению; перечень веществ, которые необходимо удалять; параметры окружающей среды (температура, влажность, вибрация), необходимость физических барьеров, размеры и масса оборудования, последовательность монтажа; эксплуатационные требования; требования технического обслуживания; состояние оборудования до начала процесса; состояние после завершения процесса. Термины и определения для характеристики параметров технологического процесса приведены в Приложении С.
- производительность процесса, принцип организации связи, требования эргономики;
- внешние факторы, влияющие на процесс; перечень всех нормируемых факторов, влияющих на выбор строительной площадки и эксплуатацию, включая местные нормы, указания и необходимость получения разрешения на строительство; необходимые ресурсы и факторы (водоснабжение, качество окружающего воздуха, возможности обеспечения электроэнергией, имеющиеся системы удаления отходов, характеристика вибраций в зоне строительной площадки, оценка влияния близлежащего окружения, геотехнические факторы, факторы безопасности и доступа);
- требования к окружающей среде в чистом помещении: требования к воздуху (чистота, тип потока воздуха, направление потока воздуха, скорость воздуха, движение воздуха в помещении); температура (темп повышения температуры, темп понижения температуры), относительная влажность, влажность (темп повышения влажности, темп понижения влажности), давление (перепад давления, пределы изменения давления); уровень звукового давления (шума), вибрация, освещение; размеры помещения (высота от пола до потолка, площадь помещения, нагрузка на пол); ионизация.;
- требования безопасности: все требования нормативных документов; разделение зон циркуляции воздуха; хранение и транспортирование токсичных, воспламеняющихся и опасных материалов; требования к эвакуации, огнестойкости строительных конструкций и узлов, горючесть материалов; оценка необходимости системы дымоудаления, кратность воздухообмена;
- требования по энергосбережению в соответствии с ГОСТ Р 56190,включающиесокращение до разумного минимума площадей чистых помещений и других помещений с кондиционированием воздуха; исключение задания необоснованно высоких классов чистоты; обоснование кратностей воздухообмена, избегая чрезмерно высоких значений, в том числе из-за неоправданно жестких требований к времени восстановления; использование HEPA и ULPA фильтров по ГОСТ Р ЕН 1822-1 с пониженным перепадом давления, например мембранных тефлоновых фильтров; герметизацию неплотностей в стыках ограждающих конструкций; применение местной защиты при задании высокого класса в ограниченной зоне исходя из требований процесса; сокращение численности персонала или использование безлюдных технологий (например, использование закрытого оборудования, изоляторов); определение на этапах аттестации и эксплуатации реальной величины резерва мощности, заложенной проектом; строгое соблюдение требований эксплуатации, в том числе к одежде, гигиене персонала, обучению и пр.;
- требования к наличию резервов: дублирование системы, увеличение размеров системы, резерв основного элемента, резервный источник, обнаружение и регистрация отказов, способы переключения (ручные или автоматические);
- требования к техническому обслуживанию: средняя наработка на отказ, среднее время ремонта, максимальное время ремонта, наличие запасных частей (тип и количество);
- другие требования, которые влияют на проектирование, строительство, эксплуатацию и техническое обслуживание: требования к потокам персонала и материалов, воздушные шлюзы, интенсивность эксплуатации, эргономика, эстетика;
- учет перспективного развития и планирования во времени.
5.66. Общие требования проектирования и монтажа чистых помещений приведены в ГОСТ Р 56640.
Планировочные решения следует принимать исходя из последовательности и требований чистоты технологических операций, принципа разделения чистых зон, размещения инженерных систем, удобства эксплуатации и обслуживания в соответствии с Технологической частью проекта.
Планировочные решения должны предусматривать: логичную организацию маршрутов перемещения исходных и упаковочных материалов, промежуточной и готовой продукции, персонала, исключение их неоправданного пересечения, либо применение принципа разделения во времени; рациональную организацию входа и выхода персонала, комнат переодевания, избежание ненужного усложнения и этапов переодевания.
Безопасность персонала и технологического оборудования должна обеспечиваться организацией путей эвакуации, выполнением требований огнестойкости и горючести строительных конструкций и материалов, оборудованием средствами сигнализации и управления эвакуацией при чрезвычайных ситуациях, а также системами их предупреждения и ликвидации.
При проектировании предусматривается, как правило, разделение помещений на зоны:
- рабочие зоны - зоны, в которых вручную или на автоматическом оборудовании выполняются технологические операции с пластинами, матрицами (фотолитография, диффузия, травление, тонкие пленки, химико-механическая полировка и др.), в которых вероятность загрязнения высока, если процесс открыт непосредственно в окружающую среду. К наиболее распространенным средствам защиты продукта внутри рабочих зон относятся однонаправленный поток, минимизация занимаемого пространства и концентрация используемых материалов и продукции, разделение персонала и открытого продукта, включая использование барьерной технологии. Рабочие зоны, как правило, отделяются от соседних, менее критических, зон физическими барьерами или потоками воздуха.
- зоны обслуживания - зоны, в которых расположены части технологического оборудования, не выходящие в рабочую зону. В зонах обслуживания рабочий процесс закрыт по отношению к окружающей среде. Зоны обслуживания обычно располагаются рядом с соответствующей рабочей зоной.
- зоны - зоны, находящиеся вблизи рабочих зон, зон обслуживания и способствующие разделению более чистых и менее чистых зон. В этих зонах не располагаются ни продукт, ни оборудование.
Инженерное оборудование, транзитные сети и трубопроводы располагают, как правило, за пределами чистых помещений.
5.67 Заданные значения температуры и относительной влажности в чистых помещениях должны обеспечивать функционирование технологических процессов, оборудования, обеспечения стабильных условий для персонала, находящегося в одежде для чистого помещения. Система освещения должна быть совместима с эффективной эксплуатацией чистого помещения. Уровень звукового давления, обусловленного окружающей средой или оборудованием, должен обеспечивать безопасность персонала.
5.68 Строительные конструкции чистых комнат должны иметь гладкую поверхность, не выделять загрязнений, быть износостойкими и обладать стойкостью к моющим и дезинфицирующим веществам, состав которых определяется назначением помещения, устойчивыми к коррозии, воздействию химических веществ, используемых в технологическом процессе, обладать антистатическими или электропроводными свойствами. При этом должны быть обеспечены прочность и герметичность.
Стены чистых комнат допускается выполнять с остеклением. В потолках должна быть предусмотрена возможность герметизированного размещения фильтров (воздухораспределителей), светильников, пожарных извещателей и пр.
5.69 Общие требования проектирования и монтажа систем вентиляции и кондиционирования приведены в ГОСТ Р 56638.
Системы вентиляции и кондиционирования воздуха в чистых помещениях осуществляют:
- подачу требуемого количества наружного воздуха для дыхания человека;
- удаление вредных веществ;
- обеспечение требуемых параметров микроклимата (температура и влажность воздуха);
- поддержание положительного или отрицательного давления воздуха в помещении;
- обеспечение заданного класса чистоты воздуха.
Требования к системам вентиляции и кондиционирования могут быть выполнены с применением следующих типов систем вентиляции и кондиционирования:
- прямоточная;
- прямоточная с рекуперацией тепла;
- с рециркуляцией воздуха;
- двухуровневая;
- с локальными зонами.
Исходя из конкретных условий, могут бать применены и другие системы с учетом капитальных и эксплуатационных затрат.
Локальные установки очистки воздуха допускается размещать как в самом помещении, так и за его пределами.
В состав локальной установки, как правило, входят вентилятор, HEPA (EPA или ULPA) фильтры по ГОСТ Р ЕН 1822-1. При необходимости предусматриваются фильтры для удаления запахов и химические фильтры.
Перепад давления между различными помещениями вызывает эксфильтрацию (утечку) воздуха из помещения через щели в притворах дверей и разного рода неплотности. Величина утечки должна быть компенсирована равным количеством приточного воздуха.
5.70 Энергосбережение в чистых комнатах должно осуществляться выполнением требований ГОСТ Р 56190-2014 «Чистые помещения. Методы энергосбережения, основными строительными мероприятиями в котором являются:
- размещение энергоемких производств в климатических зонах, не требующих чрезмерно высоких затрат на обогрев и увлажнение воздуха зимой, охлаждение и осушение летом;
- сокращение до разумного минимума площадей чистых помещений и других помещений с кондиционированием воздуха;
- минимизация поступления и потерь тепла, утепление зданий;
- герметизация неплотностей в стыках ограждающих конструкций;
- применение местной защиты при задании высокого класса чистоты в ограниченной зоне исходя из требований процесса;
- рекуперация тепла;
- рециркуляция воздуха с доведением доли наружного воздуха до минимума, где это не запрещено обязательными нормами
- использование высокоэффективных вентиляторов, кондиционеров и чиллеров;
- удаление избытков теплоты от оборудования преимущественно встроенными в оборудование локальными системами, а не средствами вентиляции и кондиционирования воздуха и т. д;
- использование средств защиты рабочих мест и вытяжных шкафов, не требующих удаления больших объемов воздуха при работе с вредными веществами (например, закрытое оборудование, системы с ограниченным доступом, изоляторы);
- использование оборудования с резервом мощности (например, кондиционеры, фильтры и др.), с учетом того, что оборудование с большей номинальной мощностью потребляет меньше энергии для выполнения данной задачи;
- использование HEPA и ULPA фильтров с пониженным перепадом давления, например мембранных тефлоновых фильтров;
5.71 В чистых помещениях для исключения влияния статического электричества используют три дополняющих друг друга метода:
- заземление мебели и персонала (использование антистатических браслетов, антистатических стульев, одежды и обуви, инструментов и т.д.);
- ионизация воздуха, позволяющая нейтрализовать статический заряд на изолированных объектах, для зарядки молекул газов.
- применение антистатической тары и упаковки как во время работы с микросхемами (антистатические лотки, подставки), так и во время их транспортирования (антистатические контейнеры, антистатические кейсы, паллеты, пакеты)»
Приложение А Нормативные документы.
Дополнить нормативными документами в следующей редакции:
«ГОСТ Р ИСО 14644-1-2017 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 1. Классификация чистоты воздуха по концентрации частиц»;
«ГОСТ Р 56191–2014 «Чистые помещения. Определение класса чистоты с использованием коэффициента запаса»;
«ГОСТ Р 56190-2014 Чистые помещения. Методы энергосбережения»;
«ГОСТ Р 56640-2015 Чистые помещения. Проектирование и монтаж. Общие требования».
«ГОСТ Р 56638-15 Чистые помещения. Вентиляция и кондиционирование воздуха. Общие требования»;