ТЕХНИЧЕСКОЕ ЗАДАНИЕ
Раздел 1. Требования к товарам, работам, услугам
Установка магнетронного напыления в количестве.
Технические характеристики:
| Наименование | Характеристика | ||||||||||||||||||||||||
| УСТАНОВКА МАГНЕТРОННОГО НАПЫЛЕНИЯ | НАЗНАЧЕНИЕ И ТЕХНИЧЕСКИЕ ОСОБЕННОСТИ
Установка предназначена для двустороннего напыления (с возможностью одностороннего напыления) в одном технологическом цикле на 100 керамических подложек типа ВК-100 или СТ-50 размером 60*48 (толщина 0,25; 0,5; 0,6; 1 мм) резистивных пленок (типа РС-3710; РС-5406; РС-1004, хрома, тантала, титана и т.д.) и проводящих пленок меди за один рабочий цикл.
Рабочий цикл должен включать: откачку, прогрев подложек до 350 град., напыление системы металлов.
Система управления должна обеспечивать возможность работать в ручном, наладочном и полностью автоматическом режиме по предварительно написанному рецепту.
Состав установки
- Вакуумная камера из нержавеющей стали с системой охлаждения и со смотровым окном.
- Откачная система на базе безмасляных насосов
- Вращающаяся карусель с подложкодержателем с количеством позиций не менее 100 (позиция под размер подложек 60*48 мм), с возможностью напыления одновременно на одну или 2 стороны подложки.
- Блок автоматизированного управления процессами откачки и технологическими режимами.
- Не менее 4 прямоугольных магнетронов с эффективной зоной распыления по длине не менее 250 мм, с максимальной мощностью не менее 5 кВт с возможностью работы на постоянном токе и в среднечастотном импульсном режиме.
- Система ионной очистки подложек.
- Система нагрева подложек до заданной температуры, с контроллером задания и поддержания температуры до 3500С.
- Автоматическая система регулировки и подачи технологических газов (Ar, O2).
- Контроль температуры подложек с помощью пирометра.
- Поворотное устройство должно быть изолировано от вакуумной камере. Изоляция должна выдерживать напряжение не менее 1000 В.
- Управляемые заслонки с возможностью предварительной очистки мишени любого из напылительных устройств.
Технические параметры
Дополнительно: - Скорость вращения карусели: регулируемая от 0 до 20 об/мин. - Установка должна быть оснащена оборотной системой охлаждения, в комплект поставки должен быть включен чиллер. - Газовая и пневматическая системы должны быть выполнены в виде легкосъемных модулей. - В комплект поставки включить компрессор.
|
Предлагаемое к поставке оборудование должно быть новым, т.е. оборудованием, которое:
- не было в употреблении;
- не подвергалось ремонту, в том числе восстановлению, замене составных частей, восстановлению потребительских свойств, не было собрано из восстановленных узлов и агрегатов;
- не являлось выставочным образцом;
- из серийного выпуска предприятия-изготовителя, срок изготовления оборудования не ранее 2016 г.;
- свободным от прав третьих лиц.
Поставщик осуществляет гарантии на поставляемое оборудование со сроком не менее 12 месяцев с момента подписания сторонами Акта по проведению пуско-наладочных работ.
Оборудование должно соответствовать требованиям Российских и международных стандартов по безопасности и иметь в России обязательную сертификацию.
Поставщик должен обеспечить возможность послегарантийного обслуживания по дополнительному договору с сервисным центром.
Раздел 2. Требования к описанию товаров, работ, услуг поставщиком
Описание поставляемого товара в коммерческом предложении.
Раздел 3. Условия поставки
Поставщик обеспечивает поставку оборудования, проведение пуско-наладочных работ и инструктаж персонала приемам работы по наладке, обслуживанию и ремонту оборудования в течение 9 месяцев с момента оплаты аванса после заключения договора.
Поставка оборудования на условиях DDP по адресу:
Раздел 4. Оценочная стоимость и порядок расчетов
Оценочная стоимость товаров 35 075 900,00 рублей, включающая в себя:
- стоимость оборудования;
- доставку на условиях DDP согласно базовым условиям поставки в том числе стоимость страхования, тары, упаковки, маркировки;
- проведение пуско-наладочных работ;
- инструктаж персонала приемам работы по наладке и обслуживанию оборудования.
Налоги, сборы и пошлины, взимаемые в связи с исполнением поставки товара, оплачиваются Поставщиком.
Поставщик предоставляет обеспечение заявки – 0,5% от начальной (максимальной) цены контракта (НМЦК), а также обеспечение исполнения контракта в размере 30% от НМЦК. Обеспечение должно быть предоставлено путем внесения денежных средств на указанный заказчиком счет или предоставлением банковской гарантии, выданной кредитной организацией, соответствующей требованиям, установленным частью 1 статьи 2 Федерального закона от 21 июля 2014 года № 213-ФЗ.
Форма оплаты – безналичная.
Сроки и порядок оплаты:
30% аванс – после заключения договора;
70% окончательный платеж – после подписания Сторонами Акта по проведению пуско-наладочных работ и проведения инструктажа персонала приемам работы по наладке, обслуживанию и ремонту оборудования.