ВНЕДРЕНИЕ ТЕХНОЛОГИИ ЛАЗЕРНОГО УПРАВЛЯЕМОГО

Помещается в конце статьи и носит наименование «Список использованных источников».

Объем списка использованных источников не должен превышать 30% от объема текста статьи!

При цитировании необходимо указывать источник со страницами (ГОСТ Р 7.05–2008 БИБЛИОГРАФИЧЕСКАЯ ССЫЛКА. Общие требования и правила составления).

Пример оформления:

1. Фамилия И.О. Название книги. – М.: Издательство, 2017. – 123 с.

2. Название книги / под ред. И.О. Фамилия. – М.: Издательство, 2017. – 123 с.

3. Фамилия И.О. Название статьи // Журнал. – 2017. – № 11. –С. 51–57.

4. Фамилия И.О. Название диссертации: автореф. дис.... канд. физ.-мат. наук. – Томск, 2017. – 20 с.

5. Фамилия И.О. Моделирование процесса сканирования // Современная техника и технология: труды VII Междунар. научно-практ. конф. молодых ученых. – Томск, 2017. – Т. 1. – С. 225–229.

6. Ланьков А. Япония: страна и люди [Электронный ресурс]. – Режим доступа: https://www.lankov.oriental.ru (дата обращения 12.03.2017).

УДК 314.748

ВНЕДРЕНИЕ ТЕХНОЛОГИИ ЛАЗЕРНОГО УПРАВЛЯЕМОГО

ТЕРМОРАСКАЛЫВАНИЯ В РОССИИ

Кондратенко В.С.

д.т.н., профессор, советник ректората,
зав. кафедрой оптических и биотехнических систем и технологий, Физико-технологический институт РТУ МИРЭА

Рогов А.Ю.

заместитель директора, Физико-технологический институт РТУ МИРЭА

Аннотация. Работа посвящена развитию высокоэффективных технологий прецизионного раскроя хрупких неметаллических материалов на основе метода лазерного управляемого термораскалывания (ЛУТ), который получает в последнее время все большее распространение и признание во всем мире. Приведены некоторые примеры решения высокотехнологичных задач с использованием метода ЛУТ.

Ключевые слова: лазерное управляемое термораскалывание, сапфир, стекло, кремний

INTRODUCTION OF LASER TECHNOLOGY CONTROLLED THERMOCRACKING IN RUSSIA

Kondratenko V.S.

Dr.Sc., professor,
head of Department of optical and biotechnical systems and technologies,
Physico-technological institute of MIREA – Russian Technological University

Rogov A.Yu.

deputy director,
Physico-technological institute of MIREA – Russian Technological University

Annotation. The work is dedicated to the development of highly efficient technologies of precision cutting brittle non-metallic materials on the basis of a method of laser-managed thermosplitting (LCT), which gets recently the increasing distribution and worldwide recognition. Some examples of high-tech solutions to problems using the method of LCT.

Keywords: laser controlled thermocracking, sapphire, glass, silicon

Благодаря надрезам глубиной 100 мкм и последующему сквозному ЛУТ, резы формировались ровными без отклонений [1], и торцы рабочей поверхности кристаллов получились качественными по двум направлениям (рис. 1).

а) б) в) г)

Рис. 1. Видимая ширина зоны термического влияния и ширина надреза (а);
глубина надреза 100 мкм в профиль (б); качество резов после ЛУТ
по двум направлениям с рабочей стороны (в, г), 20^х

(1)

Одномерная задача для поглощения излучения по закону Бугера решается аналитически и выражается рядом Фурье по Cos (pzn / h) – где z – текущая координата, h – толщина пластины, n – натуральное целое число [2].

Как показали сравнительные испытания (табл. 1), лазерная резка методом ЛУТ обеспечивает повышение прочности кромки стекла в 5 и более раз.

Таблица 1. Прочность кромки флоат-стекла при различных методах резки

Список использованных источников:

1. Кондратенко В.С. Способ резки хрупких материалов / Патент РФ №2024441, МКИ СО3 В 33/02. – 1991.

2. Кондратенко В.С., Исай И.А. Лазерная технология изготовления сеток и шкал для оптических приборов / Российский технологический журнал. – № 3 (8), т. 2. – М.: МИРЭА, 2015. – С. 22-28.