Контрольные точки после финишной полировки





Проводится контроль состояния поверхности пластин и их формы.

При оценке состояния рабочей поверхности пластин учитывается наличие ямок, светящихся точек, пятен, подтеков, сколов, исчезающих и неисчезающих рисок и трещин.

Для этого используются стереоскопические микроскопы МБС–2 и МБС–9, в которых наблюдается поверхность пластин в пучке света, падающем под определенным углом.

Толщину, разнотолщинность и прогиб пластин контролируют емкостным методом также, как после резки и шлифовки. Для контроля не плоскостности используют методы интерферометрии или лазерного сканирования.

При интерферометрическом контроле формы рабочей поверхности сравнивают с эталонной плоскостью призмы интерферометра. На экране наблюдают интерференциальную картину, по виду и числу полос которой можно судить о форме поверхности и значении максимальной неплоскостности.

При лазерном сканировании кроме максимальной можно получить данные о локальной неплоскостности на площади 1 или 2 см2.

Рис.4. Локальные неплоскостности при лазерном сканировании

 

Химподготовка пластин

Источники загрязнения поверхности и классификация загрязнений

Источники загрязнения поверхности :

-абразивные, смазочные и клеящие материалы при механической обработке

- человек (продукты дыхания, косметика, …)

-инструмент, оснастка, тара

- технологические среды (газы, вода, химреактивы)

- грязь из производственных помещений

Классификация загрязнений

- молекулярные (жиры, пыль и т.д.) – связь с поверхностью – электростатическая

- ионные (растворимые в воде соли, кислоты, основания)

- металлические (атомы металлов – золото, серебро, медь,
железо) из химических реактивов

 

Деионизованная вода. Получение. Основные характеристики технологической деионизованной воды

Деионизованная вода

- Средний уровень чистоты 99,9999%, что соответствует концентрации остаточных ионов 2·10-6% или ρ = 17-18 МОм·см

- 18,24 МОм – теоретически очищенная вода

- Деионизованная вода 17-18 МОм·см является сильным растворителем:

положительное – растворение химсоединений на поверхности

отрицательное – вымывание грязи из трубопроводов и фильтров и перенос на поверхность подложки

 

 

Основной характеристикой технологической деионизованной воды является удельное сопротивление. Чем чище вода, тем мень в ней ионов тем хуже проводимость ,тем выше удельное сопротивление(ВРОДЕ ОН ТАК ГОВОРИЛ)

Гидромеханическая отмывка

Гидромеханическая отмывка – это комплексный способ удаления микроскопических загрязнений с полированной поверхности пластин проточной водой и мягкими вращающимися щётками или кистями. Кисти изготовляют из беличьего меха, а щётки из искусственных материалов (капрона, нейлона). Крепление пластин осуществляется вакуумным присосом. Деионизованную воду подают на пластины под давлением 50–200 кПа. При расходе воды на 1Л/ мин длительность процесса 5–7 минут. Предварительно, чтобы ослабить связи загрязнений с поверхностью и облегчить из механическое удаление, пластины обрабатывают в кислотах или растворителях.

Основные недостатки гидромеханической отмывки является загрязнение кистей и щёток и, следовательно, перенос загрязнений с одной партии обрабатываемых пластин на другую. Поэтому кисти и щётки надо регулярно промывать, а это трудоёмко.





Читайте также:
Отчет по производственной практике по экономической безопасности: К основным функциональным целям на предприятии ООО «ХХХХ» относятся...
Методы лингвистического анализа: Как всякая наука, лингвистика имеет свои методы...
Методы цитологических исследований: Одним из первых создателей микроскопа был...
Романтизм как литературное направление: В России романтизм, как литературное направление, впервые появился ...

Рекомендуемые страницы:



Вам нужно быстро и легко написать вашу работу? Тогда вам сюда...

Поиск по сайту

©2015-2021 poisk-ru.ru
Все права принадлежать их авторам. Данный сайт не претендует на авторства, а предоставляет бесплатное использование.
Дата создания страницы: 2016-02-12 Нарушение авторских прав и Нарушение персональных данных


Поиск по сайту:

Мы поможем в написании ваших работ! Мы поможем в написании ваших работ! Мы поможем в написании ваших работ!
Обратная связь
0.009 с.